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J-GLOBAL ID：201402235919170122   整理番号：14A0114183

シリコン結晶太陽電池のための室温堆積AlO_x不動態皮膜の構造分析

Structure Analyses of Room Temperature Deposited AlO_x Passivation Films for Crystalline Silicon Solar Cells

著者 (20件)： SAKAI Chikako (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  SAKAI Chikako (JST-CREST, Saitama, JPN) ,  YAMAMOTO Shunsuke (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  YAMAMOTO Shunsuke (JST-CREST, Saitama, JPN) ,  URUSHIBATA Ko (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  URUSHIBATA Ko (JST-CREST, Saitama, JPN) ,  MIKI Shohei (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  MIKI Shohei (JST-CREST, Saitama, JPN) ,  ARAFUNE Koji (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  ARAFUNE Koji (JST-CREST, Saitama, JPN) ,  YOSHIDA Haruhiko (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  YOSHIDA Haruhiko (JST-CREST, Saitama, JPN) ,  LEE Hyun Ju (Meiji Univ., Kawasaki, JPN) ,  LEE Hyun Ju (JST-CREST, Saitama, JPN) ,  OGURA Atsushi (Meiji Univ., Kawasaki, JPN) ,  OGURA Atsushi (JST-CREST, Saitama, JPN) ,  OHSHITA Yoshio (Toyota Technological Inst., Nagoya, JPN) ,  OHSHITA Yoshio (JST-CREST, Saitama, JPN) ,  SATOH Shin-ichi (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  SATOH Shin-ichi (JST-CREST, Saitama, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 52  号： 12  ページ： 122303.1-122303.5  発行年： 2013年12月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者は,p形シリコン結晶(c-Si)太陽電池のための不動態化層としてオゾンベースの原子層堆積アルミニウム酸化物(AlO_x)膜の構造を研究して,AlO_x膜の作製条件による構造の変化に着目した。アルミニウム源(トリメチルアルミニウム)から派生するメチルや水酸基,カルボキシル基などの炭素(C)関連のグループは室温で堆積されたAlO_x膜(RT-試料)でのみ見出される。堆積後の熱アニーリング(PDA)で,C関連のグループは膜から脱着し,そして,それらのスペースの一部が空孔として残った。200°Cか300°Cで堆積された膜(加熱された試料)でC関連のグループは堆積の間に脱着するので見出されなかった。C関連のグループは,RTとPDA後の加熱された試料の両方に存在しなかった時でさえ,RT-試料のAlO_x膜の構造は加熱された試料のものと異なっていた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ケイ素 ,  *単結晶 ,  *太陽電池 ,  P型半導体 ,  *不動態皮膜 ,  化学蒸着 ,  単原子層 ,  室温 ,  *酸化アルミニウム ,  熱処理 ,  *赤外吸収スペクトル ,  スペクトル ,  屈折率 ,  化学組成
準シソーラス用語： 原子層堆積 ,  脱着スペクトル

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

物質索引 (1件)： トリメチルアルミニウム

引用文献 (26件)：

• C. H. Henry: J. Appl. Phys. 51 (1980) 4494.
• A. G. Aberle: Prog. Photovoltaics 8 (2000) 473.
• M. Hofmann, S. Janz, C. Schmidt, S. Kambor, D. Suwito, N. Kohn, J. Rentsch, R. Preu, and S. W. Glunz: Sol. Energy Mater. Sol. Cells 93 (2009) 1074.
• B. Hoex, S. B. S. Heil, E. Langereis, M. C. M. van de Sanden, and W. M. M. Kessels: Appl. Phys. Lett. 89 (2006) 042112.
• B. Hoex, J. J. H. Gielis, M. C. M. van de Sanden, and W. M. M. Kessels: J. Appl. Phys. 104 (2008) 113703.

タイトルに関連する用語 (6件)： シリコン結晶 ,  太陽電池 ,  室温 ,  堆積 ,  不動態皮膜 ,  構造分析