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J-GLOBAL ID：201402254353610000   整理番号：14A0489323

マルチ位置センサを用いた大規模ステージの振動抑制制御のための周波数分離自己共振の除去

Frequency Separation Self Resonance Cancellation for Vibration Suppression Control of a Large-Scale Stage Using Multiple Position Sensors

著者 (5件)： SAKATA Koichi (Nikon Corp., Yokohama, JPN) ,  ASAUMI Hiroyoshi (Nikon Corp., Yokohama, JPN) ,  HIRACHI Kazuyuki (Nikon Corp., Yokohama, JPN) ,  SAIKI Kazuaki (Nikon Corp., Yokohama, JPN) ,  FUJIMOTO Hiroshi (Univ. Tokyo, Chiba, JPN)
資料名： Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society  (Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society)
巻： 39th Vol.8  ページ： 6478-6483  発行年： 2013年 
JST資料番号： H0475B  ISSN： 1553-572X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アクチュエータ側と負荷側に位置するマルチ位置センサを用いたSIMOシステムにおいて,新規なフィードバックシステムを提案した。提案したフィードバックシステムには,二つのパラメータによって同時に調節できる共振モードの振動抑制と位相安定化ができ,共振モードの調節は固定モードにまったく影響を及ぼさないという特徴がある。提案したフィードバック制御システムの長所を示すために,XYガントリーステージにおけるYステージでシミュレーションと実験を行った。

シソーラス用語： *防振 ,  位置センサ ,  センサ ,  大規模系 ,  *位置決め装置 ,  アクチュエータ ,  モデリング ,  周波数応答 ,  Nyquist線図 ,  感度関数 ,  ステップ応答 ,  高速Fourier変換 ,  誤差 ,  フィードバック制御 ,  振動モード ,  システム
準シソーラス用語： *振動抑制 ,  マルチセンサ ,  *X-Yステージ ,  Nyquistダイアグラム ,  位置誤差 ,  共振モード ,  SIMOシステム

分類 (1件)： 制御応用一般  (IC03010U)

タイトルに関連する用語 (7件)： マルチ ,  位置センサ ,  大規模 ,  ステージ ,  抑制制御 ,  自己 ,  共振