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J-GLOBAL ID：201402255526182898   整理番号：14A0804279

CMOS互換プロセスによるSOI横型PIN光検出器の高速応答特性

High-speed Response of SOI Lateral PIN-type Photodiode Fabricated by CMOS Compatible Process

著者 (4件)： LI Gen (金沢大 大学院自然科学研究科) ,  前北和晃 (金沢大 大学院自然科学研究科) ,  丸山武男 (金沢大 大学院自然科学研究科) ,  飯山宏一 (金沢大 大学院自然科学研究科)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 114  号： 46(LQE2014 1-16)  ページ： 1-4  発行年： 2014年05月15日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： SOI基板上にCMOS互換プロセスを用いて,薄膜Siの横型PIN光検出器を作製し,波長0.8μm帯での特性評価を行った。作製した光検出器は,受光面積23μm×23μm,電極間隔3μm,電極幅1μmである。i層幅1μmのPIN型光検出器において,10V印加時の暗電流は0.1nAであった。波長850nmにおいて,10V印加時,感度6.2mA/W,帯域6.5GHzを得た。また,30V印加時,最大帯域8GHzを得た。(著者抄録)

シソーラス用語： 半導体プロセス ,  CMOS構造 ,  *フォトダイオード ,  PIN接合 ,  プリント基板 ,  *SOI構造 ,  応答特性 ,  *SOI基板 ,  MOS構造
準シソーラス用語： CMOSプロセス ,  *PINフォトダイオード

分類 (1件)： 半導体集積回路  (NC03162T)

引用文献 (7件)：

• D. A. B. Miller, "Device requirements for optical interconnects to silicon chips," Proc. IEEE, vol. 97, no. 7, pp. 1166-1185, Jul. 2009.
• J. Van Campenhout, P. R. Romeo, P. Regreny, C. Seassal, D. V. Thourhout, S. Verstuyft, L. Di Cioccio, J.-M. Fedeli, C. Lagahe, and R. Baets, "Electrically pumped InP-based microdisk lasers integrated with a nanophotonic silicon-on-insulator waveguide circuit," Opt. Exp., vol. 15, no. 11, pp. 6744-6749, May 2007.
• S. Arai, N. Nishiyama, T. Maruyama, and T Okumura, "GaInAsP/InP membrane lasers for optical interconnects," IEEE J. Sel. Top. Quantm Electron., vol. 17, no. 5, pp. 1381-1389, Sep./Oct. 2011.
• C. L. Schow, R. Li, J. D. Schaub, and J. C. Campbell, "Design and implementation of high-speed planar Si photodiodes fabricated on SOI substrates," IEEE J. Quantum Electron., vol. 35, no. 10, pp. 1478-1482, Oct. 1999.
• K. Iiyama, H. Takamatsu, and T. Maruyama, "Hole-injection-type and electron-injection-type silicon avalanche photodiodes fabricated by standard 0.18 μm CMOS process," IEEE Photon. Technol. Lett., vol. 22, no. 12, pp. 932-934, Jun. 2010.

タイトルに関連する用語 (6件)： CMOS ,  プロセス ,  SOI ,  横型 ,  光検出器 ,  応答特性