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J-GLOBAL ID：201402261389262080   整理番号：14A0370344

球対称プラズマを用いたBEUV光源データベースの構築

著者 (17件)： 吉田健祐 (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ) ,  藤岡慎介 (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ) ,  東口武史 (宇都宮大) ,  鵜篭照之 (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ) ,  田中のぞみ (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ) ,  川崎将人 (宇都宮大) ,  鈴木悠平 (宇都宮大) ,  大橋隼人 (宇都宮大) ,  鈴木千尋 (核融合科研) ,  富田健太郎 (九大) ,  廣瀬僚一 (東北大) ,  江島丈雄 (東北大) ,  錦野将元 (日本原子力開発機構) ,  SCALLY Enda (Univ. Coll. Dublin, IRL) ,  O’SULLIVAN Gerard (Univ. Coll. Dublin, IRL) ,  西村博明 (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ) ,  疇地宏 (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 61st  ページ： ROMBUNNO.18P-F1-12  発行年： 2014年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *光源 ,  *極端紫外線 ,  *レーザプラズマ ,  球対称性 ,  *データベース ,  *フォトリソグラフィー ,  *EUV光源 ,  *プラズマ
準シソーラス用語： *EUVリソグラフィー

分類 (3件)： 光源  (BD07020D) ,  プラズマ一般  (BJ02010B) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 球対称 ,  プラズマ ,  データベース ,  構築