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J-GLOBAL ID：201402270936112896   整理番号：14A0536724

Advanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系を用いた高分解能かつ色収差のない硬X線顕微鏡の開発

著者 (7件)： 松山智至 (大阪大 大学院工学研究科) ,  恵美陽治 (大阪大 大学院工学研究科) ,  木野英俊 (大阪大 大学院工学研究科) ,  佐野泰久 (大阪大 大学院工学研究科) ,  香村芳樹 (理研) ,  石川哲也 (理研) ,  山内和人 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2014  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.R46  発行年： 2014年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 硬X線領域において色収差なく高分解能でX線を結像できる光学系を実現するために,4枚の非球面ミラー(楕円ミラー×2枚,双曲ミラー×2枚)で構成されているAdvanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系を開発した。10keVのX線を使ってタンタル製スターチャートの観察を行ったところ,100nm以下の分解能で解像することに成功した。また吸収端近傍で微粒子の観察に成功したので報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *X線顕微鏡 ,  硬X線 ,  *色収差 ,  *非球面鏡 ,  分解能 ,  結像 ,  放射光施設
準シソーラス用語： SPring-8

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (7件)： Kirkpatrick-Baezミラー ,  光学系 ,  高分解能 ,  色収差 ,  硬X線 ,  顕微鏡 ,  開発