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J-GLOBAL ID：201402294877640537   整理番号：14A0850433

光・歪複合検知MEMSセンサによる近接覚・触覚計測

Proximity and Tactile Sensing Using a Single MEMS Sensor with Photo- and Strain Sensitivities

著者 (8件)： 横山輔久登 (大阪大学大学院基礎工学研究科) ,  金島岳 (大阪大学大学院基礎工学研究科) ,  奥山雅則 (大阪大学ナノサイエンスデザイン教育研究センター) ,  安部隆 (新潟大学大学院自然科学研究科) ,  野間春生 (立命館大学情報理工学部) ,  東輝明 (ニッタ(株)) ,  寒川雅之 (大阪大学大学院基礎工学研究科) ,  寒川雅之 (新潟大学大学院自然科学研究科)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 134  号： 7  ページ： 229-234 (J-STAGE)  発行年： 2014年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 筆者らは,これまでにMEMS技術により作製した3つの傾斜マイクロカンチレバーをエラストマに埋め込み,垂直圧力とせん断力を同時検出できる触覚センサを開発してきた。しかし,接触前の情報を得るには別のセンサを必要としていたため,接触前と接触後の計測点がずれるという問題があった。本論文では,単一のMEMSセンサを用いて触覚・近接覚の2つの情報を取得する手法を開発した。直流抵抗の測定により触覚情報を,交流インピーダンスの測定により近接覚情報をそれぞれ検出でき,MEMS技術を活かした小型化が可能である。またセンサ素子を走査することによる近接覚の分布計測を行った。

シソーラス用語： 接触 ,  非接触測定 ,  近接効果 ,  触覚 ,  *触覚センサ ,  *光センサ ,  電気化学インピーダンス ,  電気測定 ,  *センサフュージョン ,  MEMS ,  多重化 ,  計測システム ,  片持梁 ,  等価回路 ,  回路解析 ,  *物体認識 ,  走査 ,  ゴム ,  弾性 ,  応力解析 ,  歪 ,  MEMSセンサ ,  エラストマ ,  形状認識 ,  交流インピーダンス ,  弾性歪 ,  *センサ ,  機械的性質 ,  解析
準シソーラス用語： スキャンニング ,  マイクロカンチレバー ,  多機能性 ,  非接触計測

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (9件)：

• (1) H. Hasegawa, Y. Mizoguchi, K. Tadakuma, A. Ming, M. Ishikawa, and M. Shimojo: “Development of Intelligent Robot Hand using Proximity, Contact and Slip sensing”, IEEE Int. Conf. Robotics and Automation, pp. 777-784 (2010)
• (2) Y. Mizoguchi, K. Tadakuma, H. Hasegawa, A. Ming, M. Ishikawa, and M. Shimojo: “Development of Intelligent Robot Hand Using Proximity, Contact and Slip Sensing”, Society of Instrument and Control Engineers, Vol. 46, No. 10, pp. 632-640 (2010) (in Japanese)
• 溝口善智・多田隈建二郎・長谷川浩章・明 愛国・石川正俊・下条 誠:「近接・触・すべり覚を統合したインテリジェントロボットハンドの開発」,計測自動制御学会論文集,Vol. 46, No. 10, pp. 632-640 (2010)
• (3) S. Tsuji, A. Kimoto, and E. Takahashi: “A Multifunction Tactile and Proximity Sensing Method by Optical and Electrical Simultaneous Measurement”, IEEE Trans. Instrum. Meas., Vol. 61, No. 12, pp. 3312-3317 (2012)
• (4) S. Tsuji and T. Kohama: “An Array System of Proximity and Tactile Sensors by Simultaneous Measurement of Optical and Electrical Properties”, IEEJ Trans. SM, Vol. 133, No. 3, pp. 66-71 (2013)

タイトルに関連する用語 (4件)： 歪 ,  MEMSセンサ ,  触覚 ,  計測