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J-GLOBAL ID：201402295490856180   整理番号：13A1947521

ICP支援DCマグネトロン放電における気体温度空間分布の吸収分光計測

著者 (4件)： 秋葉駿佑 (長崎大) ,  坂口侑也 (長崎大) ,  篠原正典 (長崎大) ,  松田良信 (長崎大)
資料名： 応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集
巻： 39  ページ： 176  発行年： 2013年11月30日 
JST資料番号： L1487A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *気体放電 ,  *誘導結合プラズマ ,  空間分布 ,  *吸光分光分析 ,  温度分布
準シソーラス用語： マグネトロン放電 ,  気体温度

分類 (3件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  プラズマ一般  (BJ02010B) ,  分光法と分光計一般  (BD07041Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： ICP ,  支援 ,  DC ,  マグネトロン放電 ,  気体温度 ,  空間分布 ,  分光計測