特許
J-GLOBAL ID：201403000296488777
検査装置および検査用画像データの生成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
小野 新次郎
, 宮前 徹
, 山崎 幸作
, 鐘ヶ江 幸男
, 串田 幸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-086227
公開番号（公開出願番号）：特開2014-211955
出願日： 2013年04月17日
公開日（公表日）： 2014年11月13日
要約：
【課題】TDIセンサを使用した検査装置の検査精度を向上させる。【解決手段】検査装置は、荷電粒子または電磁波のいずれか1つをビームとして照射する1次光学系と、検査対象を保持可能な移動部であって、検査対象を、1次光学系によるビームの照射位置上を所定の方向に移動させる移動部と、移動部を所定の方向に移動させながら行われるビームの検査対象への照射によって得られる二次荷電粒子の量を時間遅延積分方式によって所定の方向に沿って積算して積算検出量として順次転送するTDIセンサと、1つの転送から次の転送までの期間において、1つの転送から一定期間経過した後、次の転送までの間、ビームの検査対象側への到達、または、二次荷電粒子のTDIセンサへの到達を阻止する阻止部とを備える。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
検査装置であって、
荷電粒子または電磁波のいずれか1つをビームとして照射する1次光学系と、
検査対象を保持可能な移動部であって、前記検査対象を、前記1次光学系による前記ビームの照射位置上を所定の方向に移動させる移動部と、
前記移動部を前記所定の方向に移動させながら行われる前記ビームの前記検査対象への照射によって得られる二次荷電粒子の量を時間遅延積分方式によって前記所定の方向に沿って積算して積算検出量として順次転送するTDIセンサと、
1つの前記転送から次の前記転送までの期間において、前記1つの転送から一定期間経過した後、前記次の転送までの間、前記ビームの前記検査対象側への到達、または、前記二次荷電粒子の前記TDIセンサへの到達を阻止する阻止部と
を備えた検査装置。
IPC (4件)：
H01J 37/244
, H01J 37/29
, H01J 37/147
, G01N 23/225
H01J37/244
, H01J37/29
, H01J37/147 B
, G01N23/225
2G001AA03
, 2G001BA07
, 2G001BA15
, 2G001CA03
, 2G001GA12
, 2G001HA13
, 2G001KA03
, 2G001LA11
, 5C033FF09
, 5C033NN01
, 5C033NN10
, 5C033NP08
