特許
J-GLOBAL ID:201403001378394246

黒色窒化アルミニウムおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 増田 建 ,  増田 恵美
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-203729
公開番号(公開出願番号):特開2014-058419
出願日: 2012年09月15日
公開日(公表日): 2014年04月03日
要約:
【課題】金属アルミニウム板の表面全体を窒化し、全ての波長域の太陽光を効率よく吸収して熱に変換し、それを熱電デバイスに高速で輸送する黒色窒化アルミニウム(AlN)基板を提供する。【解決手段】黒色窒化アルミニウムは、金属アルミニウム板(以下、「Al板」ともいう。)を、該金属アルミニウム板の融点(660.2°C)以上の温度で、窒素雰囲気中において所定の時間加熱することにより該金属アルミニウム板表面に形成したナノサイズの立方晶またはナノサイズのウィスカー(繊維状結晶)である。【選択図】図1(a)
請求項(抜粋):
金属アルミニウム板を、該金属アルミニウム板の融点以上の温度で、窒素雰囲気中において所定の時間加熱することにより該金属アルミニウム板表面に形成した、ナノサイズの立方晶またはナノサイズのウィスカーである黒色窒化アルミニウム。
IPC (5件):
C01B 21/072 ,  H01L 35/30 ,  C23C 8/24 ,  B82Y 30/00 ,  B82Y 40/00
FI (5件):
C01B21/072 B ,  H01L35/30 ,  C23C8/24 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00
Fターム (4件):
4K028AA02 ,  4K028AB02 ,  4K028AC03 ,  4K028AC07
引用特許:
審査官引用 (15件)
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引用文献:
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