特許
J-GLOBAL ID：201403002971896068

電気機械変換膜の製造方法、電気機械変換膜、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置

発明者：
下福 光

下福 光 について

, 
町田 治

町田 治 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-204772
公開番号（公開出願番号）：特開2014-060282
出願日： 2012年09月18日
公開日（公表日）： 2014年04月03日
要約：
【課題】一成膜あたりの成膜量が多く、経済的な電気機械変換膜の製造方法を提供する。【解決手段】下地上の少なくとも一部に電気機械変換膜を製造する電気機械変換膜の製造方法であって、下地51を所定のパターンに表面改質する工程と、下地の表面改質されていない領域に、電気機械変換膜と同じ組成の微粒子と、電気機械変換膜の前駆体と、を含むゾルゲル液を、インクジェット方式により塗布する工程と、塗布されたゾルゲル液を加熱する工程と、を含み、微粒子の平均粒径は1μm未満である。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
下地上の少なくとも一部に電気機械変換膜を製造する電気機械変換膜の製造方法であって、 前記下地を所定のパターンに表面改質する工程と、 前記下地の表面改質されていない領域に、前記電気機械変換膜と同じ組成で、かつ、平均粒径が1μm未満の微粒子と、前記電気機械変換膜の前駆体と、を含むゾルゲル液を、インクジェット方式により塗布する工程と、 塗布された前記ゾルゲル液を加熱する工程と、 を含む、電気機械変換膜の製造方法。
IPC (9件)：
H01L 41/22 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/39 ,  B41J 2/16 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/045 ,  H01L 21/316
FI (9件)：
H01L41/22 Z ,  H01L41/08 L ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  B41J3/04 103H ,  B41J3/04 103A ,  H01L21/316 G
Fターム (14件)：
2C057AF93 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AG55 ,  2C057AP14 ,  2C057AP57 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BE10 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01 ,  5F058BJ04
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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