特許
J-GLOBAL ID：200903054806443768
液体移送装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
兼子 直久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-197256
公開番号（公開出願番号）：特開2005-035013
出願日： 2003年07月15日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：
【課題】低い駆動電圧で駆動された圧電素子によっても、十分に液室内の液体に圧力を付与して、液室から外部に液体を移送することができる液体移送装置の製造方法を提供すること。【解決手段】インク貯留部形成工程(S1)により形成されたインク貯留部(またはインク貯留部となる積層体)に、振動板接合工程(S2)おいて振動板が拡散接合または陽極接合される。その後、PZT成膜工程(S3)により圧電体膜が成膜され、アニール工程(S4)でアニール処理される。このため、インク貯溜室に振動板を接合した状態で圧電体膜を振動板上に形成することができ、PZT層を形成する処理条件が厳しくとも、振動板のダメージを軽減することができる。更に、インク貯留部を形成する板状部材のそれぞれの接合および振動板の接合において、有機系の接着剤は未使用であるので、板状部材の接合(積層)界面の耐熱性を向上させることができる。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
圧電素子を変形させてその圧電素子に対応して設けられた液室内の液体に圧力を付与し、その液室から外部に液体を移送する液体移送装置において、
前記液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料を積層して一体化する工程、
前記シート材料の積層体における第2のシート材料上の少なくとも前記開口に対応する位置を含む位置に、前記圧電素子を構成する材料を成膜形成する工程、
前記シート材料の積層体及び前記圧電体膜をアニール処理し、前記圧電素子を構成する材料を結晶化する工程からなる液体移送装置の製造方法。
IPC (7件)：
B41J2/16
, H01L41/08
, H01L41/09
, H01L41/187
, H01L41/22
, H01L41/24
, H02N2/00
B41J3/04 103H
, H02N2/00 B
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101D
, H01L41/22 A
, H01L41/08 D
2C057AF55
, 2C057AF93
, 2C057AG44
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP28
, 2C057AP57
