特許
J-GLOBAL ID：201403003447669042

MEMS素子、電子デバイス、高度計、電子機器および移動体

発明者：
松澤 勇介

松澤 勇介 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦 ,  渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-270077
公開番号（公開出願番号）：特開2014-115208
出願日： 2012年12月11日
公開日（公表日）： 2014年06月26日
要約：
【課題】正確な微小圧力を計測可能とする圧力センサーを構成することができるMEMS素子を得る。【解決手段】基板と、前記基板の第1の面上に形成された複数の共振子と、を備え、前記基板には、少なくとも1つの可撓部と、少なくとも1つの非可撓部と、を備え、前記可撓部および前記非可撓部に対応して前記共振子が配置されているMEMS素子。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板の第1の面上に形成された複数の共振子と、 を備え、 前記基板には、少なくとも1つの可撓部と、少なくとも1つの非可撓部と、を備え、 前記可撓部および前記非可撓部に対応して前記共振子が配置されている、 ことを特徴とするMEMS素子。
IPC (5件)：
G01L 9/00 ,  H03H 9/24 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00 ,  G01C 21/30
FI (6件)：
G01L9/00 307 ,  H03H9/24 Z ,  H01L29/84 Z ,  H01L29/84 B ,  B81B3/00 ,  G01C21/00 E
Fターム (64件)：
2F055AA01 ,  2F055BB20 ,  2F055CC51 ,  2F055DD05 ,  2F055EE25 ,  2F055FF11 ,  2F055GG12 ,  2F129AA03 ,  2F129BB03 ,  2F129BB20 ,  2F129BB22 ,  2F129BB26 ,  2F129BB33 ,  2F129BB52 ,  2F129HH12 ,  3C081AA01 ,  3C081BA30 ,  3C081BA43 ,  3C081BA45 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081BA76 ,  3C081CA03 ,  3C081EA03 ,  3C081EA22 ,  4M112AA01 ,  4M112BA07 ,  4M112BA08 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA04 ,  4M112CA11 ,  4M112CA12 ,  4M112CA13 ,  4M112CA14 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA23 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA32 ,  4M112CA33 ,  4M112CA34 ,  4M112DA02 ,  4M112DA15 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112FA01 ,  4M112FA20 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03 ,  5J108AA09 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108GG03 ,  5J108GG14 ,  5J108JJ01
引用特許：
審査官引用 (4件)
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