特許
J-GLOBAL ID:200903008837769228
容量型センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
志賀 正武
, 渡邊 隆
, 村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-523296
公開番号(公開出願番号):特表2007-502416
出願日: 2004年08月10日
公開日(公表日): 2007年02月08日
要約:
本発明は、容量型センサに関するものであって、密封キャビティを備えたハウジングと;キャビティ内に配置されたプレートと;キャビティの一部を形成し、なおかつ、プレートから離間して配置された、ダイヤフラムと;このダイヤフラム上に設けられた第1導電性層と;プレート上に設けられた第2導電性層と;を具備し、第1導電性層および第2導電性層が、キャパシタの両電極を形成し、このキャパシタのキャパシタンスが、プレートに対してのダイヤフラムの位置に応じて変化するものとされている。
請求項(抜粋):
容量型センサであって、
密封キャビティを備えたハウジングと;
前記キャビティ内に配置された第1プレートと;
前記キャビティの一部を形成し、なおかつ、前記第1プレートから離間して配置された、第1ダイヤフラムと;
この第1ダイヤフラム上に設けられた第1導電性層と;
前記第1プレート上に設けられた第2導電性層と;
を具備し、
前記第1導電性層および前記第2導電性層が、キャパシタの両電極を形成し、
このキャパシタのキャパシタンスが、前記第1プレートに対しての前記第1ダイヤフラムの位置に応じて変化するものとされていることを特徴とする容量型センサ。
IPC (7件):
G01L 9/12
, G01P 15/125
, G01L 19/04
, G01L 13/06
, G01L 17/00
, B60C 23/04
, B60C 23/20
FI (8件):
G01L9/12
, G01P15/125 Z
, G01L19/04
, G01L13/06 C
, G01L17/00 301P
, B60C23/04 G
, B60C23/04 N
, B60C23/20
Fターム (11件):
2F055AA12
, 2F055BB05
, 2F055CC02
, 2F055DD01
, 2F055DD09
, 2F055DD11
, 2F055EE25
, 2F055FF02
, 2F055FF34
, 2F055FF43
, 2F055GG11
引用特許:
出願人引用 (3件)
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米国特許第5,436,795号明細書
-
米国特許第6,278,379号明細書
-
圧力検出装置用パッケージ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-223787
出願人:京セラ株式会社
審査官引用 (8件)
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特開昭58-000731
-
特開平4-204339
-
圧力センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-040537
出願人:ニッタ株式会社
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