特許
J-GLOBAL ID：200903040378716770

圧力センサモジュール

発明者：
井之上 久幸

井之上 久幸 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-021165
公開番号（公開出願番号）：特開2005-214770
出願日： 2004年01月29日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：
【課題】モレ搬送波が隣接する参照用素子あるいは圧力検出用素子の搬送波と干渉するのを防止することができる圧力センサモジュールを提供する。【解決手段】一主面に凹部5が形成されているセンサ基板1上で、凹部5の形成領域内に圧電体,IDTを含む圧力検出用素子2を、凹部5の形成領域外に圧電体,IDTを含む参照用素子3を設けたセンサ素子と、圧力検出用素子2の共振周波数に基づいて所定周波数の電気信号を発振する第1発振回路と、参照用素子3の共振周波数に基づいて所定周波数の電気信号を発振する第2発振回路と、第1発振回路からの電気信号と第2発振回路からの電気信号とを比較して変換信号を生成するとともに変換信号を出力するコンパレータと、コンパレータからの変換信号と第2発振回路からの電気信号とを変調して外部に出力する変調回路とを備え、センサ基板1上の圧力検出用素子2と参照用素子3とを並列に配置する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
一主面に凹部が形成されているセンサ基板上で、前記凹部の形成領域内に、圧電体及びインターデジタルトランスデューサを含む圧力検出用弾性表面波素子を、前記凹部の形成領域外に、圧電体及びインターデジタルトランスデューサを含む参照用弾性表面波素子を設けたセンサ素子と、 前記圧力検出用弾性表面波素子の共振周波数に基づいて所定周波数の電気信号を発振する第1の発振回路と、 前記参照用弾性表面波素子の共振周波数に基づいて所定周波数の電気信号を発振する第2の発振回路と、 前記第1の発振回路からの電気信号と前記第2の発振回路からの電気信号とを比較して変換信号を生成するとともに、該変換信号を出力するコンパレータと、 前記コンパレータからの変換信号と前記第2の発振回路からの電気信号とを変調して外部に出力する変調回路と、を備えてなる圧力センサモジュールであって、 前記センサ基板上の前記圧力検出用弾性表面波素子と前記参照用弾性表面波素子とを、両素子の弾性表面波の伝播方向を平行に、且つ、弾性表面波の伝播方向と直交する方向に並べて配置させたことを特徴とする圧力センサモジュール。
IPC (1件)：
G01L9/00
FI (1件)：
G01L9/00 A
Fターム (8件)：
2F055AA12 ,  2F055BB20 ,  2F055CC55 ,  2F055DD19 ,  2F055EE33 ,  2F055FF11 ,  2F055FF49 ,  2F055GG11
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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