特許
J-GLOBAL ID：201403003579557731
走査型電気化学イオンコンダクタンス顕微鏡、その探針及び探針の製造方法。
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
平山 一幸
, 篠田 哲也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-140602
公開番号（公開出願番号）：特開2010-261923
特許番号：特許第5467473号
出願日： 2009年06月11日
公開日（公表日）： 2010年11月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ナノメートルオーダーに先鋭化した先端面と、該先端面の開口により露出される中空部とを有する探針本体と、
上記探針本体の中空部の内周面に炭素層が形成され該炭素層の先端が上記探針本体の先端面において上記開口を取り巻いてリング状に露出して構成され、探針-試料表面間の電気化学反応に起因するファラデー電流を計測するSECM電極と、
上記中空部内に備えられており、該中空部内に満たされる電解質の上記開口からの流出量に応じたイオン電流を計測するSICM電極と、
を有してなり、
上記SECM電極と上記SICM電極に独立に電圧が印加されて上記ファラデー電流と上記イオン電流とを干渉を起こすことなく同時に検出する、走査型電気化学イオンコンダクタンス顕微鏡用の探針。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用文献：
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