特許
J-GLOBAL ID：201403004113852837
半導体マイクロ分析チップ及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人スズエ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-045393
公開番号（公開出願番号）：特開2014-173935
出願日： 2013年03月07日
公開日（公表日）： 2014年09月22日
要約：
【課題】 微粒子検出を高感度で行うことができ、且つ高信頼性及び低コストを実現する。【解決手段】 検体液中の微粒子を検出するための半導体マイクロ分析チップであって、半導体基板10と、半導体基板10に設けられ、検体液が導入される第1の流路31と、第1の流路31に設けられ、検体液中の微粒子を通過させるための微細孔40と、を具備している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
検体液中の微粒子を検出するための半導体マイクロ分析チップであって、
半導体基板と、
前記半導体基板に設けられた溝及び該溝の少なくとも一部に蓋をする第1の絶縁膜からなり、前記検体液が導入される第1の流路と、
前記半導体基板の加工体で形成又は該加工体の一部若しくは全部を酸化して形成され、前記第1の流路の内部に設けられ、前記第1の流路の底面から上面に延在する複数の柱状体と、
少なくとも一部が前記第1の絶縁膜を底面とし、該第1の絶縁膜上に少なくとも一部が積層されて溝パターンを成す第2の絶縁膜、及び該第2の絶縁膜による溝パターンの少なくとも一部に蓋をする第3の絶縁膜からなり、前記第1の流路上に設けられた第2の流路と、
前記第1の流路と前記第2の流路との間に設けられ、前記検体液中の前記微粒子を通過させるための微細孔と、
を具備したことを特徴とする半導体マイクロ分析チップ。
IPC (5件)：
G01N 27/416
, G01N 37/00
, G01N 15/00
, G01N 15/14
, G01N 27/28
G01N27/46 336M
, G01N37/00 101
, G01N15/00 B
, G01N15/14 Z
, G01N27/28 321F
, G01N27/28 321G
