特許

J-GLOBAL ID：201403004180749315

慣性力センサ

発明者： 鈴木 健悟 ,  青野 宇紀 ,  金丸 昌敏 ,  林 雅秀
出願人/特許権者： 日立オートモティブシステムズ株式会社
代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-182839
公開番号（公開出願番号）：特開2014-041033
出願日： 2012年08月22日
公開日（公表日）： 2014年03月06日
要約：

【課題】本発明は、外乱振動が作用した場合において、センサ素子内部で外乱振動を減衰することを可能とする慣性力センサを提供する。【解決手段】固定部と、可とう性を有する第1の梁を介して前記固定部に保持される質量体と、可とう性を有する第2の梁を介して前記質量体に保持される振動体とを有し、 前記質量体は前記固定部の内側に配置されるとともに前記振動体は前記質量体の内側に配置され、前記第1の梁が前記第2の梁より剛性が小さいことを特徴とする慣性力センサ。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

固定部と、 可とう性を有する第1の梁を介して前記固定部に保持される質量体と、 可とう性を有する第2の梁を介して前記質量体に保持される振動体とを有し、

IPC (3件)：

G01C 19/574 ,  G01C 19/576 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C19/56 240 ,  G01C19/56 269 ,  H01L29/84 Z

Fターム (25件)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB03 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA02 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112EA14 ,  4M112FA01 ,  4M112FA08 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 振動ジャイロセンサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-292586   出願人：住友精密工業株式会社
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-070932   出願人：株式会社豊田中央研究所
• 半導体センサー装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-134385   出願人：トレックス・セミコンダクター株式会社