角速度センサ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉田研二 , 石田純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-070932
公開番号（公開出願番号）：特開2011-203127
出願日： 2010年03月25日
公開日（公表日）： 2011年10月13日
要約：

【課題】錘の励振時に発生する、コリオリ力と同方向の漏れ振動を抑制し、コリオリ力による錘の変位を正確に検出することのできる角速度センサを提供する。【解決手段】x錘24およびx変位検出梁20からなるx振動子とz錘22およびz変位検出梁18からなるz振動子が、プレート16に支持され、プレート16は励振梁12に支持されている。励振梁12は励振電極26の励振によりy軸方向に振動させられる。励振用の梁と検出用の梁とを分離させることで、励振時に発生し得る漏れ振動を抑制できる。漏れ振動が抑制されることにより、x振動子およびz振動子に掛かるコリオリ力を正確に測定することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

錘と、前記錘を支持する梁と、前記錘を所定の励振方向に振動させる励振電極と、前記励振方向に直交する第1の検出方向、および、前記励振方向及び前記第1の検出方向に直交する第2の検出方向の前記錘の変位を検出する検出電極と、を備えた角速度センサであって、前記梁は、前記第2の検出方向に沿って延び、前記励振電極によって前記励振方向に振動させられる励振梁と、前記励振方向に沿って延び、前記第1の検出方向の加振により前記第1の検出方向に振動させられる第1の検出梁と、前記励振方向に沿って延び、前記第2の検出方向の加振により前記第2の検出方向に振動させられる第2の検出梁と、を備え、前記錘は、前記第1の検出梁に支持された第1の錘と、前記第2の検出梁に支持された第2の錘と、を備え、前記第1の検出梁、および、前記第2の検出梁の反錘側は前記励振梁に支持されるプレートに接続され、前記検出電極は、前記第1の錘の前記第1の検出方向の変位を検出する第1の検出電極と、前記第2の錘の前記第2の検出方向の変位を検出する第2の検出電極と、を備え、前記第1の検出電極によって検知された前記第1の錘の前記第1の検出方向の変位に基づいて、前記第2の検出方向の角速度を求めるとともに、前記第2の検出電極によって検知された前記第2の錘の前記第2の検出方向の変位に基づいて、前記第1の検出方向の角速度を求めることを特徴とする、角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C19/56 , G01P9/04

Fターム (6件)：

2F105AA02 , 2F105BB08 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (5件)

角速度センサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-010228 出願人：株式会社村田製作所
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-230236 出願人：株式会社村田製作所
マイクロメカニカル回転速度センサ
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-564526 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

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