特許
J-GLOBAL ID：201403004604755949

ミニマル製造装置と生産ラインと生産ラインの組み替え方法

発明者：
原 史朗

原 史朗 について

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前川 仁

前川 仁 について

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中野 禅

中野 禅 について

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クンプアン ソマワン

クンプアン ソマワン について

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二川 真士

二川 真士 について

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飯田 穣

飯田 穣 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について

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株式会社デザインネットワーク

株式会社デザインネットワーク について


代理人 (2件)： 佐野 弘 ,  石井 明夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-264850
公開番号（公開出願番号）：特開2014-110359
出願日： 2012年12月04日
公開日（公表日）： 2014年06月12日
要約：
【課題】ミニマル製造装置を用いた生産ラインを、速やかに安全確実に組み替える。【解決手段】ミニマル製造装置本体の底板36の左側壁と右側壁の直下に位置する部分に、平行に一対の脚部が設けられている。底板36の直下であって一対の脚部に挟まれた部分には、運搬装置14の昇降機構25が差しこまれる空間を有する。床面には、底板36を支持する固定構造16が設けられている。一対の脚部または底板には、位置決め脚42と連結機構71とが設けられている。固定構造16には、位置決め脚42に対向する位置に、V溝台66が設けられている。位置決め脚42は、底板36が固定構造16に向かって下降したときに、V溝台66に接触して底板36を位置決めして支持する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
以下の要素を有するミニマル製造装置。 (a)ミニマル製造装置本体は、前壁と後壁と左側壁と右側壁とに囲まれ、底部が底板36により保護されている。 (b)前記底板36の前記左側壁と前記右側壁の直下に位置する部分に、平行に一対の脚部が設けられている。 (c)前記底板36の直下であって前記一対の脚部に挟まれた部分には、運搬装置14の昇降機構25が差しこまれる空間を有する。 (d)床面には、前記底板36を支持する固定構造16が設けられている。 前記一対の脚部または底板には、位置決め脚42と連結機構71とが設けられている。 (e)前記固定構造16には、前記位置決め脚42に対向する位置に、V溝台66が設けられている。
IPC (1件)：
H01L 21/02
FI (1件)：
H01L21/02 Z
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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