特許
J-GLOBAL ID:201403007918638130
半導体装置用基板、半導体装置、調光型照明装置、自己発光表示装置、太陽電池および反射型液晶表示装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
渡辺 望稔
, 三和 晴子
, 伊東 秀明
, 三橋 史生
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-066157
公開番号(公開出願番号):特開2013-253317
出願日: 2013年03月27日
公開日(公表日): 2013年12月19日
要約:
【課題】高い可撓性を持ち、生産性や歩留りの向上を図かれる、高性能なフレキシブルな半導体デバイスを構成する、半導体装置用の基板で、光電変換層に有機半導体材料を利用する半導体装置であっても、水分に起因する特性劣化を防止し、絶縁層となる陽極酸化皮膜のクラックも防止することのできる半導体装置用基板、この基板を用いる半導体装置および反射型液晶表示装置、ならびに、この半導体装置を用いる照明装置、表示装置および太陽電池を提供する。【解決手段】基板10が、シート状のアルミニウム基材12と、基材12の両面に形成されたアルミニウムの多孔質陽極酸化膜14と、陽極酸化皮膜の少なくとも一方の表面に形成されたケイ素を含む無孔質酸化物からなる保護層16とを有し、かつ、両面の陽極酸化皮膜14が、共に、室温で圧縮方向の歪みを有する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
シート状のアルミニウム基材と、前記アルミニウム基材の両面を陽極酸化してなるアルミニウムの多孔質陽極酸化皮膜と、両面の前記陽極酸化皮膜の少なくとも一方の表面に形成されたケイ素を含む無孔質酸化物からなる保護層とを有し、かつ、前記両面の陽極酸化皮膜が、共に、室温で圧縮方向の歪みを有することを特徴とする半導体装置用基板。
IPC (8件):
C23C 28/04
, H01L 31/04
, H01L 51/42
, G02F 1/133
, H05B 33/02
, H01L 51/50
, C23C 18/12
, C25D 11/18
FI (9件):
C23C28/04
, H01L31/04 M
, H01L31/04 D
, G02F1/1333 505
, G02F1/1333 500
, H05B33/02
, H05B33/14 A
, C23C18/12
, C25D11/18 312
Fターム (58件):
2H190HA08
, 2H190HB06
, 2H190HC09
, 2H190JA07
, 2H190JA08
, 2H190JA09
, 2H190JB01
, 2H190JB04
, 2H190JD12
, 3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107BB02
, 3K107CC21
, 3K107CC23
, 3K107CC24
, 3K107CC45
, 3K107DD15
, 3K107DD17
, 3K107DD18
, 3K107EE48
, 3K107FF08
, 3K107FF09
, 3K107FF15
, 3K107GG06
, 4K022AA02
, 4K022AA41
, 4K022BA20
, 4K022BA33
, 4K022DA06
, 4K044AA01
, 4K044AA06
, 4K044BA12
, 4K044BA13
, 4K044BA19
, 4K044BB03
, 4K044BB09
, 4K044BB13
, 4K044BC02
, 4K044BC14
, 4K044CA15
, 4K044CA17
, 4K044CA53
, 4K044CA62
, 5F151AA11
, 5F151BA11
, 5F151BA15
, 5F151CB30
, 5F151DA03
, 5F151DA07
, 5F151FA02
, 5F151FA03
, 5F151FA04
, 5F151FA06
, 5F151FA13
, 5F151FA14
, 5F151FA15
, 5F151GA02
, 5F151HA20
引用特許:
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