特許
J-GLOBAL ID：201403007990023492
層間絶縁膜用及びオーバーコート用の樹脂、並びに感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩谷 龍
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-191730
公開番号（公開出願番号）：特開2013-053312
特許番号：特許第5564083号
出願日： 2012年08月31日
公開日（公表日）： 2013年03月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 エポキシ構造を含むアクリル系モノマーと、シランを含むアクリル系モノマーと、芳香族環を含むアクリル系モノマーと、エチレン性不飽和モノマーと、前記のエポキシ構造を含むアクリル系モノマー、シランを含むアクリル系モノマー及び芳香族環を含むアクリル系モノマーとは異なるものから選ばれる不飽和カルボン酸とを反応させた共重合体である樹脂であって、
前記エポキシ構造を含むアクリル系モノマーが、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートであり、
前記シランを含むアクリル系モノマーが、3-(トリメトキシシリル)プロピルメタクリレートであり、
前記芳香族環を含むアクリル系モノマーが、ベンジルメタクリレートであり、
前記エチレン性不飽和モノマーが、トリシクロデカニルメタクリレートであり、
前記不飽和カルボン酸がメタクリル酸であることを特徴とする層間絶縁膜用及びオーバーコート用の樹脂。
IPC (3件)：
C08F 220/32 ( 200 6.01)
, G03F 7/033 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
C08F 220/32
, G03F 7/033
, H01L 21/30 502 R
, H01L 21/30 575
