感光性樹脂組成物及びこれを利用したパターンの形成方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小野由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-317448
公開番号（公開出願番号）：特開2003-207891
出願日： 2002年10月31日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：

【要約】【課題】熱酸発生剤を含む感光性樹脂組成物及びこれを使用したパターンの形成方法を提供する。【解決手段】樹脂組成物は、アルカリ可溶性アクリル共重合体100重量部、1、2-キノンジアジド化合物5〜100重量部、窒素含有架橋剤2〜35重量部及び熱により酸を発生させる熱酸発生剤0.1〜10重量部とを含む。基材上に感光性樹脂組成物を塗布・乾燥して感光性膜を製造後、所定形状のマスクを挿入し、露光・現像して感光膜パターンを製造する。得られる感光膜パターンを加熱・硬化すると、熱流れが殆どない熱硬化されたパターンが形成される。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性アクリル共重合体100重量部、1、2-キノンジアジド化合物5〜100重量部、窒素含有架橋剤2〜35重量部及び熱により酸を発生させる熱酸発生剤0.1〜10重量部とを含む感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/033 , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/033 , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 , H01L 21/30 502 R

Fターム (12件)：

2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB52 , 2H025CB55 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29

引用特許：

出願人引用 (3件)

米国特許第5,610,741号明細書
感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-327699 出願人：東京応化工業株式会社
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-211735 出願人：ジェイエスアール株式会社

審査官引用 (8件)

感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-327699 出願人：東京応化工業株式会社
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-211735 出願人：ジェイエスアール株式会社
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-036458 出願人：日本合成ゴム株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

化学大辞典, 19891020, 第1版, 第1376頁

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