感光性樹脂組成物、LCD基板及びそのパターン形成方法

発明者： , , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-010981
公開番号（公開出願番号）：特開2006-209112
出願日： 2006年01月19日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：

【課題】感度、透過率、絶縁性、耐化学性、平坦性、コーティング性などの性能に優れているだけでなく、特に無機質材料との接着性が顕著に向上して、LCD製造工程の層間絶縁膜を形成するのに適合する感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】本発明による感光性樹脂組成物は、a)i)不飽和カルボン酸、不飽和カルボン酸無水物、またはこれらの混合物、ii)エポキシ基含有不飽和化合物、iii)オレフィン系不飽和化合物、およびiv)シラン系単量体を共重合させて得られたアクリル系共重合体;b)1,2-キノンジアジド化合物;およびc)溶媒を含む。

請求項（抜粋）：

a)i)不飽和カルボン酸、不飽和カルボン酸無水物またはこれらの混合物; ii)エポキシ基含有不飽和化合物; iii)オレフィン系不飽和化合物;および iv)シラン系単量体を共重合させて得られたアクリル系共重合体; b)1,2-キノンジアジド化合物;および c)溶媒を含む感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/023 , G03F 7/075 , G03F 7/032 , G03F 7/004 , C08F 220/06 , C08F 220/32 , C08F 230/08 , G02F 1/133

FI (8件)：

G03F7/023 , G03F7/075 521 , G03F7/032 501 , G03F7/004 501 , C08F220/06 , C08F220/32 , C08F230/08 , G02F1/1333 505

Fターム (60件)：

2H025AA01 , 2H025AA06 , 2H025AA07 , 2H025AA08 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB34 , 2H025CB41 , 2H025CB43 , 2H025CB55 , 2H025CC03 , 2H025CC04 , 2H025CC06 , 2H025CC20 , 2H090HA03 , 2H090HA04 , 2H090HB13X , 2H090HC05 , 2H090HC19 , 2H090HD02 , 2H090HD03 , 2H090HD05 , 2H090HD08 , 4J100AB02R , 4J100AB03R , 4J100AB07Q , 4J100AB07R , 4J100AJ02P , 4J100AJ08P , 4J100AJ09P , 4J100AK32P , 4J100AL03R , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100AL10Q , 4J100AL11R , 4J100AL74R , 4J100AP16S , 4J100AS01R , 4J100AS02R , 4J100AS03R , 4J100BA02Q , 4J100BA05R , 4J100BA71S , 4J100BA77S , 4J100BB01S , 4J100BC04R , 4J100BC08R , 4J100BC09R , 4J100BC28R , 4J100BC43R , 4J100BC54Q , 4J100CA06 , 4J100DA22 , 4J100DA38 , 4J100DA62 , 4J100JA37

引用特許：

出願人引用 (9件)

感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-098777 出願人：東レ株式会社
感光性樹脂組成物及びこれを利用したパターンの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-317448 出願人：三星電子株式会社
感放射線性樹脂組成物、その硬化物および素子。
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-306984 出願人：ジェイエスアール株式会社

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