レーザー光源装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-239394
公開番号（公開出願番号）：特開2014-090092
出願日： 2012年10月30日
公開日（公表日）： 2014年05月15日
要約：

【課題】簡素な構成で、レーザー周波数を広範囲かつ高分解能で制御可能なレーザー光源装置を提供する。【解決手段】レーザー光源装置は、共振器の共振器長を変化させてレーザー光の発振周波数を変化させる駆動アクチュエーターと、駆動アクチュエーターを制御するオフセットレーザー制御手段32と、を備え、オフセットレーザー制御手段32は、レーザー光の発振周波数を広範囲に亘って走査する粗動信号を出力する粗動制御部46と、レーザー光の発振周波数を微小変化させる微動信号を出力する微動制御部44と、を備え、粗動信号及び微動信号を加算した制御信号を駆動アクチュエーターに印加する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

共振器の共振器長を変化させてレーザー光の発振周波数を変化させる周波数変更手段と、前記周波数変更手段を制御する制御手段と、を備え、前記制御手段は、前記レーザー光の発振周波数を広範囲に亘って走査する粗動信号を出力する粗動制御部と、前記レーザー光の発振周波数を微小変化させる微動信号を出力する微動制御部と、を備え、前記粗動信号及び前記微動信号を加算した制御信号を前記周波数変更手段に印加することを特徴とするレーザー光源装置。

IPC (1件)：

H01S 3/139

FI (1件)：

H01S3/139

Fターム (6件)：

5F172NN24 , 5F172NP04 , 5F172NP18 , 5F172NQ09 , 5F172NQ30 , 5F172NQ43

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭60-043887
特開平4-141707
ファブリ・ペロー共振器用中空構造体
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-115758 出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク

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