特許
J-GLOBAL ID：201403014730400450

厚いフィルム・レジストを除去するための剥離及びクリーニング用組成物

発明者：
マシュー アイ.エグベ

マシュー アイ.エグベ について

, 
アイピン ウ

アイピン ウ について

, 
マドゥカー バスカラ ラオ

マドゥカー バスカラ ラオ について


出願人/特許権者：
エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド

エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  永坂 友康 ,  小林 良博 ,  出野 知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-211097
公開番号（公開出願番号）：特開2014-078009
出願日： 2013年10月08日
公開日（公表日）： 2014年05月01日
要約：
【課題】フィルム・レジストの除去に適した剥離及びクリーニング用組成物を提供する。【解決手段】フィルム・レジストの除去に適した剥離及びクリーニング用組成物は、この組成物の全重量の約2〜55重量%の少なくとも1種類のアルカノールアミン、少なくとも1種類のモルホリン、又はこれらの混合物と、約20〜94重量%の少なくとも1種類の有機溶媒と、約0.5〜60重量%の水とを含む。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
フィルム・レジストを除去するための組成物であって、 前記組成物の全重量の約2〜55重量%の少なくとも1種類のアルカノールアミン、少なくとも1種類のモルホリン、又はこれらの混合物と、 前記組成物の全重量の約20〜94重量%の少なくとも1種類の有機溶媒と、 前記組成物の全重量の約0.5〜60重量%の水と を含む、組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/42 ,  H01L 21/027 ,  B29B 17/02
FI (3件)：
G03F7/42 ,  H01L21/30 572B ,  B29B17/02
Fターム (19件)：
2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096LA03 ,  4F401AA11 ,  4F401AA17 ,  4F401AA21 ,  4F401AA23 ,  4F401AC20 ,  4F401AD07 ,  4F401CA41 ,  4F401EA08 ,  4F401EA59 ,  4F401EA62 ,  4F401EA64 ,  4F401EA66 ,  4F401EA67 ,  4F401FA01Z ,  4F401FA06Z ,  5F146MA02
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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