1級アルカノールアミンを含むLCD製造用フォトレジスト剥離液組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：葛和清司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-187941
公開番号（公開出願番号）：特開2012-118502
出願日： 2011年08月30日
公開日（公表日）： 2012年06月21日
要約：

【課題】TFT-LCD用剥離液組成物添加剤であるメルカプト基が含まれたアゾール系化合物を腐食防止剤として用いて、水の含有量変化時にもCu及びAlの腐食防止及びフォトレジスト剥離能力を一定に維持する水系フォトレジスト剥離剤を提供する。【解決手段】(a)1級アルカノールアミン1〜20重量%;(b)アルコール10〜60重量%;(c)水0.1〜50重量%;(d)極性有機溶剤5〜50重量%;及び(e)腐食防止剤0.01〜3重量%;を含むLCD製造用フォトレジスト剥離液組成物。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

(a)1級アルカノールアミン1〜20重量%; (b)アルコール10〜60重量%; (c)水0.1〜50重量%; (d)極性有機溶剤5〜50重量%;及び (e)腐食防止剤0.01〜3重量%;を含むLCD製造用フォトレジスト剥離液組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/42 , H01L 21/027 , G02F 1/134 , G02F 1/136 , G02F 1/13 , B08B 3/08 , H01L 21/304

FI (7件)：

G03F7/42 , H01L21/30 572B , G02F1/1343 , G02F1/1368 , G02F1/13 101 , B08B3/08 Z , H01L21/304 647A

Fターム (35件)：

2H088FA18 , 2H088HA02 , 2H088HA08 , 2H088MA20 , 2H092JA24 , 2H092JB21 , 2H092MA13 , 2H092MA17 , 2H092NA25 , 2H096AA25 , 2H096AA27 , 2H096LA03 , 3B201AA02 , 3B201AA03 , 3B201BB01 , 3B201BB82 , 3B201BB93 , 3B201BB95 , 5F146MA02 , 5F157AA34 , 5F157AA35 , 5F157AA64 , 5F157BB01 , 5F157BB66 , 5F157BC03 , 5F157BC07 , 5F157BC54 , 5F157BD09 , 5F157BE12 , 5F157BF22 , 5F157BF23 , 5F157BF37 , 5F157BF38 , 5F157DB03 , 5F157DB57

引用特許：

審査官引用 (13件)

フォトレジスト剥離剤組成物及びその使用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-015238 出願人：ナガセ電子化学株式会社
フォトレジスト剥離剤組成物及びその使用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-167081 出願人：ナガセ化成工業株式会社
フォトレジスト剥離剤組成物およびその使用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-259854 出願人：ナガセ化成工業株式会社

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