特許

J-GLOBAL ID：201403014904141239

センサ素子、感圧型センサ及び触覚センサ

発明者： 下山 勲 ,  松本 潔 ,  グエン タン ヴィン
出願人/特許権者： 国立大学法人 東京大学
代理人 (3件)： 吉田 正義 ,  今枝 弘充 ,  梅村 裕明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-002222
公開番号（公開出願番号）：特開2014-134543
出願日： 2014年01月09日
公開日（公表日）： 2014年07月24日
要約：

【課題】高感度で圧力、摩擦力などの情報を検出可能なセンサ素子、感圧型センサ及び触覚センサを提供する。【解決手段】開口19を有するフレーム12と、前記開口19を閉塞するように形成された、弾性変形可能な薄膜14と、前記フレーム12に基端が保持され、前記薄膜14と一体に弾性変形可能に形成されたカンチレバー16とを備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

開口を有するフレームと、 前記開口の一側を閉塞するように形成された、弾性変形可能な薄膜と、 前記フレームに基端が保持され、前記薄膜と一体に弾性変形可能に形成されたカンチレバーと を備えることを特徴とするセンサ素子。

IPC (3件)：

G01L 9/00 ,  G01L 5/16 ,  G01L 1/18

FI (3件)：

G01L9/00 303A ,  G01L5/16 ,  G01L1/18 A

Fターム (10件)：

2F051AB10 ,  2F051BA07 ,  2F051DA03 ,  2F055AA40 ,  2F055BB01 ,  2F055CC12 ,  2F055DD05 ,  2F055EE13 ,  2F055FF11 ,  2F055GG12

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 圧力センサ、圧力センサを有するセンサプローブ、センサプローブを有する医療装置、及びセンサプローブを製造する方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2010-522485   出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ, ネイダーランゼオルガニザティーボートゥーゲパスト-ナトゥールウェテンシャッペルークオンダーツォークティーエヌオー
• 半導体圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-314407   出願人：富士電機株式会社
• 剪断力検出装置及び物体把持システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-124984   出願人：国立大学法人東京大学