圧力センサ、圧力センサを有するセンサプローブ、センサプローブを有する医療装置、及びセンサプローブを製造する方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：津軽進 , 笛田秀仙
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-522485
公開番号（公開出願番号）：特表2010-538254
出願日： 2008年08月19日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：

本発明は、圧力に応じて変形可能な可撓性のある膜を有し、空所2を覆う圧力センサに関する。当該圧力センサは、可撓性のある膜の変形に応じた信号を生成する応力ゲージ21を有し、当該可撓性のある膜は、可撓性のあるモノリシックICの箔10である。この態様にて、半導体集積回路自体が可撓性のある膜として機能し、より複雑ではない製造プロセスに至る。

請求項（抜粋）：

圧力に応じて変形可能で、空所をカバーし、可撓性のある膜を有する圧力センサであって、当該センサは、前記可撓性のある膜の変形に応じた信号を生成する応力ゲージを有し、前記可撓性のある膜が、可撓性のあるモノリシックICの箔である、圧力センサ。

IPC (5件)：

G01L 9/00 , H01L 29/84 , G06K 19/00 , G06K 19/07 , A61B 5/021

FI (5件)：

G01L9/00 303A , H01L29/84 B , G06K19/00 Q , G06K19/00 H , A61B5/02 331C

Fターム (39件)：

2F055AA05 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE14 , 2F055FF43 , 2F055GG11 , 4C017AA01 , 4C017AA08 , 4C017AC04 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112CA01 , 4M112CA03 , 4M112CA09 , 4M112CA11 , 4M112CA12 , 4M112CA13 , 4M112CA14 , 4M112CA15 , 4M112DA02 , 4M112DA06 , 4M112DA08 , 4M112DA15 , 4M112DA18 , 4M112EA03 , 4M112EA04 , 4M112EA06 , 4M112EA07 , 4M112EA11 , 4M112EA14 , 4M112FA01 , 4M112FA20 , 4M112GA10 , 5B035BA03 , 5B035BB09 , 5B035BC00 , 5B035CA01 , 5B035CA23

引用特許：

審査官引用 (7件)

トランスポンダ素子及びトランスポンダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-118736 出願人：横浜ゴム株式会社
圧力センサの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-218692 出願人：三菱電機株式会社
力学量検出装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-122009 出願人：株式会社デンソー

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