特許
J-GLOBAL ID：201403015709228482
シリカガラスルツボの評価方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
SK特許業務法人
, 奥野 彰彦
, 伊藤 寛之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-241406
公開番号（公開出願番号）：特開2014-091640
特許番号：特許第5614857号
出願日： 2012年10月31日
公開日（公表日）： 2014年05月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】シリカガラスルツボの内表面に沿って非接触で内部測距部を移動させ、
移動経路上の複数の測定点において、内部測距部から前記ルツボの内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、前記内表面からの内表面反射光を検出することによって、内部測距部と前記内表面の間の内表面距離を測定し、
各測定点の三次元座標と、前記内表面距離を関連付けることによって、前記ルツボの内表面三次元形状を求める工程を備え、
(1)前記内表面三次元形状上の複数の測定点において画像を取得し、得られた画像中に異物が存在していると判断した場合には、その画像を取得した位置において前記ルツボの厚さ方向の焦点位置を変化させて複数枚の画像を取得することによって、前記異物の三次元位置を特定する工程と、
(2)前記内表面三次元形状上の複数の測定点において歪み画像を取得することによって、歪みの三次元分布を決定する工程の少なくとも一方をさらに備える、シリカガラスルツボの評価方法。
IPC (3件)：
C30B 15/10 ( 200 6.01)
, C30B 29/06 ( 200 6.01)
, C03B 20/00 ( 200 6.01)
C30B 15/10
, C30B 29/06 502 B
, C03B 20/00 H
