特許
J-GLOBAL ID：201403021666682885

基板支持用支持ユニット

発明者：
カン、ホヨン

カン、ホヨン について

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チョ、ビュンホ

チョ、ビュンホ について

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パク、ジュヨン

パク、ジュヨン について

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キム、チェルホ

キム、チェルホ について


出願人/特許権者：
株式会社テラセミコン

株式会社テラセミコン について


代理人 (1件)： 特許業務法人 大島特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-505066
公開番号（公開出願番号）：特表2014-512106
出願日： 2012年04月09日
公開日（公表日）： 2014年05月19日
要約：
基板処理時に基板が撓みにより変形するのを防止する基板支持用支持ユニットが開示される。本発明に係る基板支持用支持ユニットは、基板処理時に、基板の全面が複数の支持ピンによって均一に支持されるので、基板が自重により撓んで変形する恐れがない。従って、フラットディスプレイの信頼性が向上するという効果が得られる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
所定間隔を隔てて互いに平行に配置された一対のクロス支持バーと、 前記一対のクロス支持バーを支持する支持体に取り付けられ、前記一対のクロス支持バーの両端部をそれぞれ支持する一対の支持ブラケットと、 前記一対のクロス支持バーにより支持されたボートとを備えており、 前記ボートが、 所定間隔を隔てて互いに平行に配置され、かつ両端部が前記一対のクロス支持バーによってそれぞれ支持された一対の外側部材、 前記外側部材の直径よりも小さい直径を有し、前記各外側部材上に該部材に対して平行に配置されかつ結合された、基板の枠部分を支持するための一対の外側支持バー、 前記一対の外側部材を互いに連結する複数の連結バー及び、 前記連結バーに設けられた、前記基板を支持するための複数の支持ピンを含むことを特徴とする基板支持用支持ユニット。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 N
Fターム (14件)：
5F131AA03 ,  5F131AA12 ,  5F131AA32 ,  5F131BA24 ,  5F131CA07 ,  5F131DA02 ,  5F131DA33 ,  5F131EA04 ,  5F131EB54 ,  5F131EB55 ,  5F131EB66 ,  5F131EB78 ,  5F131EB81 ,  5F131EB82
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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