特許
J-GLOBAL ID:200903014623898683

リフトピン機構、加熱処理装置、減圧乾燥装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 速水 進治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-261604
公開番号(公開出願番号):特開2009-094182
出願日: 2007年10月05日
公開日(公表日): 2009年04月30日
要約:
【課題】処理対象部材の同一箇所に可動ピンが接触することを簡単な構造で防止することができるリフトピン機構を提供する。【解決手段】処理対象部材GBは水平移動せず、処理対象部材GBから下方に離間した可動ピン110が水平移動する。このため、可動ピン110の移動範囲を限定する必要がなく、処理対象部材GBの同一箇所に可動ピン110が接触する可能性を低減することができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
相違するタイミングで上下方向に往復移動する複数組の可動ピンにより平板状の処理対象部材を複数箇所で支持するリフトピン機構であって、 複数組の前記可動ピンと、 前記可動ピンを前記複数組ごとに上下方向に往復移動させる上下往復機構と、 前記可動ピンの少なくとも上端位置を下降したときに水平方向に変位させる水平変位機構と、 を有するリフトピン機構。
IPC (1件):
H01L 21/683
FI (1件):
H01L21/68 N
Fターム (5件):
5F031CA05 ,  5F031HA08 ,  5F031HA57 ,  5F031HA58 ,  5F031MA26
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 減圧乾燥装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-232828   出願人:大日本スクリーン製造株式会社
  • 塗布膜用乾燥炉
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-243930   出願人:株式会社石井表記
審査官引用 (4件)
  • ウォーキングビーム
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-182789   出願人:日本碍子株式会社
  • 減圧乾燥装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-232828   出願人:大日本スクリーン製造株式会社
  • 特開平1-098891
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