特許
J-GLOBAL ID:201403024307683387
光導波路構造
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
山川 政樹
, 山川 茂樹
, 小池 勇三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-046199
公開番号(公開出願番号):特開2014-174306
出願日: 2013年03月08日
公開日(公表日): 2014年09月22日
要約:
【課題】リブ型の光導波路より構成した光変調部を備える光導波路構造において、光損失や波長特性劣化を生じさせることなく、電気的な干渉が抑制できるようにする。【解決手段】光変調部111を囲ってコア104およびスラブ層103に連続して帯状に形成された分離領域107を備える。分離領域107は、内側に配置されたp型の内側部171、および内側部171に接して内側部171の外側に配置されたn型の外側部172を備える。また、内側部171および外側部172は、コア104にも形成されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
下部クラッド層の上に形成され、半導体から構成されてスラブ層を有するコアと、
前記コアの一部を挟んで前記スラブ層に形成されたp型半導体領域およびn型半導体領域を備える光変調部と、
前記光変調部を囲って前記コアおよび前記スラブ層に連続して帯状に形成された分離領域と
を備え、
前記分離領域は、内側に配置された第1導電型の内側部、および前記内側部に接して前記内側部の外側に配置された第2導電型の外側部を備えることを特徴とする光導波路構造。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (21件):
2H079AA05
, 2H079AA12
, 2H079AA13
, 2H079BA01
, 2H079BA03
, 2H079CA04
, 2H079DA16
, 2H079DA22
, 2H079DA25
, 2H079EA03
, 2H079EA05
, 2H079EA07
, 2H079EA08
, 2H079EB05
, 2H147AB02
, 2H147AC01
, 2H147BA05
, 2H147BE01
, 2H147EA13A
, 2H147EA13C
, 2H147EA14B
引用特許: