特許
J-GLOBAL ID:201403026304428001
スルホニウム塩および光酸発生剤
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
林 博史
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-114827
公開番号(公開出願番号):特開2014-234348
出願日: 2013年05月31日
公開日(公表日): 2014年12月15日
要約:
【課題】有機溶剤に対する溶解性が高く、特に、deep-UV(254nm)以下の波長の光に対して高い分解効率を有するスルホニウム塩及び該スルホニウム塩を含んでなる新たな光酸発生剤の提供。【解決手段】式(1)で示されるスルホニウム塩及び該スルホニウム塩を含有する光酸発生剤。〔式中、R1は電子吸引性基を表し;R2およびR3は炭素数1〜5のアルキル基などを表し;p、qはそれぞれ独立に0〜5の整数であり;X-は一価の対アニオンを表す。〕【選択図】なし
請求項(抜粋):
下記一般式(1)で示されるスルホニウム塩。
IPC (11件):
C07C 381/12
, C07C 309/06
, C07C 309/19
, C07C 309/29
, C07C 309/30
, C07C 317/04
, C07C 311/48
, C07F 9/52
, C07F 5/02
, C07F 5/00
, C09K 3/00
FI (11件):
C07C381/12
, C07C309/06
, C07C309/19
, C07C309/29
, C07C309/30
, C07C317/04
, C07C311/48
, C07F9/52
, C07F5/02 A
, C07F5/00 H
, C09K3/00 K
Fターム (13件):
4H006AA01
, 4H006AA03
, 4H006AB99
, 4H048AA01
, 4H048AA03
, 4H048AB99
, 4H048VA11
, 4H048VA75
, 4H048VA85
, 4H048VB10
, 4H050AA01
, 4H050AA03
, 4H050AB99
引用特許:
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