特許
J-GLOBAL ID：201403026761250439
研磨装置および研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 サトー国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-103036
公開番号（公開出願番号）：特開2014-223684
出願日： 2013年05月15日
公開日（公表日）： 2014年12月04日
要約：
【課題】メンブレンの膨らみ状態に応じた制御を行う研磨装置および研磨方法を提供する。【解決手段】圧力室を備えたメンブレンに研磨対象となるウエハWを装着して、研磨パッド4aに前記ウエハWの研磨面を当接させて研磨する研磨手段2と、前記メンブレンの圧力室の膨らみ状態をモニタするモニタ手段と、前記モニタ手段によるモニタ結果に応じて前記研磨手段2による前記ウエハWの研磨処理を制御する制御手段としての制御装置13とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
圧力室を備えたメンブレンに研磨対象となるウエハを装着して研磨パッドに前記ウエハの研磨面を当接させて研磨する研磨手段と、
前記メンブレンの圧力室の膨らみ状態をモニタするモニタ手段と、
前記モニタ手段によるモニタ結果に応じて前記研磨手段による前記ウエハの研磨処理を制御する制御手段と
を備えたことを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B37/04 N
, H01L21/304 622K
3C058AA07
, 3C058AB04
, 3C058BA05
, 3C058DA12
, 3C058DA17
, 5F057AA03
, 5F057BA22
, 5F057CA12
, 5F057DA03
, 5F057FA19
, 5F057GA02
, 5F057GB30
