特許
J-GLOBAL ID:201403029161909681

異物検査方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 羽鳥 修 ,  松嶋 善之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-205410
公開番号(公開出願番号):特開2014-059256
出願日: 2012年09月19日
公開日(公表日): 2014年04月03日
要約:
【課題】高感度で異物を検出できる方法及び装置を提供すること。【解決手段】長尺帯状のシート1をその搬送経路の途中に設置されたロール7に巻き掛ける。シート1のうち、ロール7に巻き掛けられた部位からなる被検査部20又はその近傍に、ロール7の軸方向と平行に、かつシート1の一側縁11から他側縁12に向けて、レーザー光を光源とする入射光を照射する。入射光の光路と同じ光路を反射光が通過するように、他側縁12の側に設置された反射鏡26によって入射光を反射させる。戻ってきた反射光を、一側縁11の側に設置された受光器において受光して、反射光の受光量を測定する。受光量の多少に基づきシート1の表面に異物が存在するか否かを検査する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
搬送される長尺帯状のシートに異物が存在するか否かを検出する異物検査方法であって、 前記シートをその搬送経路の途中に設置されたロールに巻き掛け、 前記シートのうち、前記ロールに巻き掛けられた部位からなる被検査部又はその近傍に、該ロールの軸方向と平行に、かつ該シートの一側縁から他側縁に向けて、レーザー光を光源とする入射光を照射し、 前記入射光の光路と同じ光路を反射光が通過するように、前記他側縁の側に設置された反射鏡によって前記入射光を反射させ、 戻ってきた反射光を、前記一側縁の側に設置された受光器において受光して、該反射光の受光量を測定し、 前記受光量の多少に基づき前記シートに異物が存在するか否かを検査する異物検査方法。
IPC (1件):
G01N 21/86
FI (1件):
G01N21/86
Fターム (9件):
2G051AA32 ,  2G051AB01 ,  2G051BA10 ,  2G051CA01 ,  2G051CB01 ,  2G051CC11 ,  2G051DA06 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01
引用特許:
審査官引用 (7件)
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