特許
J-GLOBAL ID：201403032869075757

拡散素子、照明光学系および計測装置

発明者：
宮坂 浩司

宮坂 浩司 について


出願人/特許権者：
旭硝子株式会社

旭硝子株式会社 について


代理人 (2件)： 岩壁 冬樹 ,  塩川 誠人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-039434
公開番号（公開出願番号）：特開2014-167550
出願日： 2013年02月28日
公開日（公表日）： 2014年09月11日
要約：
【課題】照明光学系を大型化させずに、所定の投影範囲に効率的かつ均一に光を照射可能にする。【解決手段】本発明による拡散素子は、入射光に位相差を付与する構造を含む層である凹凸パターン層を備え、前記凹凸パターン層は、当該拡散素子への入射光の有効径内の領域を2つ以上の領域に分割してそれぞれの領域に対して光を入射したときに異なる拡散光を出射する位相分布を有している。また、前記凹凸パターン層は、各々光が入射されると前記出射角度範囲内に拡散光を出射する基本ユニットを配列してなり、前記配列には、ユニットサイズまたはユニット内の位相分布が少なくとも異なる基本ユニットが2以上含まれていてもよい。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
所定の投影面に応じて定められる出射角度範囲内に光を出射する拡散素子であって、 入射光に位相差を付与する構造を含む層である凹凸パターン層を備え、 前記凹凸パターン層は、 当該拡散素子への入射光の有効径内の領域を2つ以上の領域に分割してそれぞれの領域に対して光を入射したときに異なる拡散光を出射する位相分布を有している ことを特徴とする拡散素子。
IPC (5件)：
G02B 5/02 ,  G02B 5/30 ,  G02B 27/44 ,  G01B 11/25 ,  G01C 3/06
FI (7件)：
G02B5/02 C ,  G02B5/02 D ,  G02B5/30 ,  G02B27/44 ,  G01B11/25 H ,  G01C3/06 110A ,  G01C3/06 140
Fターム (29件)：
2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD03 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065HH07 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL41 ,  2F065LL42 ,  2F065LL43 ,  2F112AA09 ,  2F112BA06 ,  2F112CA12 ,  2F112DA11 ,  2F112GA01 ,  2H042BA04 ,  2H042BA09 ,  2H042BA11 ,  2H042BA13 ,  2H042BA20 ,  2H149AA21 ,  2H149AB02 ,  2H149DA02 ,  2H149DA12 ,  2H149FC06
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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