特許
J-GLOBAL ID：201203044679312314

回折光学素子及び計測装置

発明者：
宮坂 浩司

宮坂 浩司 について

, 
野村 琢治

野村 琢治 について


出願人/特許権者：
旭硝子株式会社

旭硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-169582
公開番号（公開出願番号）：特開2012-058729
出願日： 2011年08月02日
公開日（公表日）： 2012年03月22日
要約：
【課題】分散型の光スポットを生成することのできる回折光学素子および計測装置を提供する。【解決手段】凹凸を有し、入射した光を2次元的に回折して、回折光を発生させる回折光学素子であって、前記回折光により形成される一部または全部の光スポットの個数をnとした場合、前記光スポットが照射される領域の面積により規格化された前記光スポットにおける平均最近隣距離Wは、1/(2×n1/2)<W<1/(n1/2)の範囲内であることを特徴とする回折光学素子を提供することにより上記課題を解決する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
凹凸を有し、入射した光を2次元的に回折して、回折光を発生させる回折光学素子であって、 前記回折光により形成される一部または全部の光スポットの個数をnとした場合、前記光スポットが照射される領域の面積により規格化された前記光スポットにおける平均最近隣距離Wは、1/(2×n1/2)<W<1/(n1/2)の範囲内であることを特徴とする回折光学素子。
IPC (2件)：
G02B 5/18 ,  G01B 11/00
FI (2件)：
G02B5/18 ,  G01B11/00 G
Fターム (14件)：
2F065AA06 ,  2F065AA21 ,  2F065FF04 ,  2F065FF48 ,  2F065GG15 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL41 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ42 ,  2H249AA03 ,  2H249AA13 ,  2H249AA55
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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