誘電体多層膜、誘電体多層膜付ガラス板及び誘電体多層膜付ガラス板の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人宮▲崎▼・目次特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-129523
公開番号（公開出願番号）：特開2013-252992
出願日： 2012年06月07日
公開日（公表日）： 2013年12月19日
要約：

【課題】エッチングされやすい誘電体多層膜を提供する。【解決手段】誘電体多層膜12は、相対的に屈折率が低い低屈折率膜12aと、相対的に屈折率が高い高屈折率膜12bとが交互に積層されてなる。高屈折率膜12bの数密度が7×1022atoms/cm3以下である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

相対的に屈折率が低い低屈折率膜と、相対的に屈折率が高い高屈折率膜とが交互に積層されてなる誘電体多層膜であって、前記高屈折率膜の数密度が7×1022atoms/cm3以下である、誘電体多層膜。

IPC (2件)：

C03C 17/34 , C03C 15/00

FI (2件)：

C03C17/34 Z , C03C15/00 Z

Fターム (13件)：

4G059AA08 , 4G059AB05 , 4G059AB11 , 4G059AC03 , 4G059AC04 , 4G059BB04 , 4G059BB12 , 4G059EA01 , 4G059EA05 , 4G059EB01 , 4G059GA02 , 4G059GA04 , 4G059GA12

引用特許：

審査官引用 (8件)

紫外光遮蔽素子とその製造方法及び光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-110551 出願人：松下電器産業株式会社
光学多層干渉膜とその製造方法および光学多層干渉膜を用いたフィルター
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-289218 出願人：旭硝子株式会社
特公昭47-014993

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