特許
J-GLOBAL ID：201403037737582813

感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法

発明者：
宮坂 昌宏

宮坂 昌宏 について

, 
村松 有紀子

村松 有紀子 について


出願人/特許権者：
日立化成株式会社

日立化成株式会社 について


代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  清水 義憲 ,  酒巻 順一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-173528
公開番号（公開出願番号）：特開2014-029535
出願日： 2013年08月23日
公開日（公表日）： 2014年02月13日
要約：
【課題】感度、解像性、密着性、レジスト形状及び硬化後剥離特性がいずれも良好である感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】(メタ)アクリル酸構造単位と(メタ)アクリル酸ベンジルエステル構造単位とを有し、酸価が100〜250mgKOH/gであるバインダーポリマーと、式(1)の光重合性化合物を、含む感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物及び(C)光重合開始剤、を含有する感光性樹脂組成物であって、 前記(A)バインダーポリマーが、(メタ)アクリル酸に基づく構造単位と、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル又は(メタ)アクリル酸ベンジルエステル誘導体に基づく構造単位とを有し、 前記(A)バインダーポリマーの酸価が、100〜250mgKOH/gであり、 前記(B)光重合性化合物が、下記一般式(1)で表される化合物を、前記(B)光重合性化合物の全質量100質量部に対して20〜50質量部含む、感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18
FI (5件)：
G03F7/027 502 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/033 ,  H05K3/06 H ,  H05K3/18 D
Fターム (51件)：
2H125AC21 ,  2H125AC33 ,  2H125AC34 ,  2H125AC63 ,  2H125AC64 ,  2H125AC74 ,  2H125AD24 ,  2H125AM13P ,  2H125AM22P ,  2H125AM23P ,  2H125AM32P ,  2H125AN10P ,  2H125AN12P ,  2H125AN29P ,  2H125AN35P ,  2H125AN47P ,  2H125AN66P ,  2H125AN91P ,  2H125AN93P ,  2H125BA02P ,  2H125BA11P ,  2H125BA17P ,  2H125BA18P ,  2H125CA13 ,  2H125CB04 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD06P ,  2H125CD08P ,  2H125CD38 ,  5E339AB02 ,  5E339BC02 ,  5E339CC01 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE12 ,  5E339CF01 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339DD02 ,  5E339DD03 ,  5E343AA02 ,  5E343AA12 ,  5E343BB24 ,  5E343CC62 ,  5E343DD32 ,  5E343ER11 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG11 ,  5E343GG20
引用特許：
審査官引用 (4件)
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