特許
J-GLOBAL ID:200903068963937139

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  赤堀 龍吾
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-212175
公開番号(公開出願番号):特開2007-304541
出願日: 2006年08月03日
公開日(公表日): 2007年11月22日
要約:
【課題】未露光部の高速現像性と露光部の優れた耐現像液性とを両立させ、解像度及び密着性を向上させることができ、現像液に対する未露光部の分散性に優れた感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)バインダーポリマーとして、アクリル酸ブチルを単量体単位として含むバインダーポリマーを含有し、且つ、(B)光重合性化合物として、下記一般式(I)で表わされる化合物を含有する、感光性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(A)バインダーポリマーと、(B)少なくとも一つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を含有し、 前記(A)バインダーポリマーとして、アクリル酸ブチルを単量体単位として含むバインダーポリマーを含有し、且つ、前記(B)光重合性化合物として、下記一般式(I)で表わされる化合物を含有する、感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F 7/027 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/004
FI (3件):
G03F7/027 502 ,  G03F7/033 ,  G03F7/004 512
Fターム (15件):
2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC43 ,  2H025BC65 ,  2H025BC82 ,  2H025CA00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025FA17
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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