特許
J-GLOBAL ID：201403040352263203
基板検査装置および基板検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-201416
公開番号（公開出願番号）：特開2014-055879
出願日： 2012年09月13日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
要約：
【課題】基板検査の精度を向上させる。【解決手段】基板100における複数の接触対象領域に複数のプローブの各先端部がそれぞれ接触するように構成されたプローブユニット2と、プローブユニット2を基板100に向けて移動させる移動処理を実行する移動機構3と、基板を検査する検査部6と、各先端部と各接触対象領域との間の離間距離のばらつきを特定する処理部8とを備え、各プローブは、互いに近接する一対のプローブを1つの組とする各組毎に各先端部が各接触対象領域に対して接触するように配置され、検査部6は、移動処理が実行されている状態において、各組における一対のプローブの各先端部と接触対象領域とが接触しているか否かを判別し、処理部8は、検査部6によって一対のプローブの各先端部と接触対象領域とが接触していると判別されたときまでのプローブユニット2の移動量に基づいて離間距離のばらつきを各組毎に特定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数のプローブを有して検査対象の基板に設けられている複数の接触対象領域に当該各プローブの各先端部がそれぞれ接触するように構成されたプローブユニットと、当該プローブユニットおよび前記基板のいずれか一方を他方に向けて相対的に移動させる移動処理を実行する移動機構と、前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記基板を検査する検査部とを備えた基板検査装置であって、
前記各先端部と前記各接触対象領域との間の離間距離のばらつきを特定する処理部を備え、
前記各プローブは、互いに近接する一対の前記プローブを1つの組とする複数の組にそれぞれ対応付けられた前記各接触対象領域に対して当該各組毎に前記各先端部が接触するように配置され、
前記検査部は、前記移動機構によって前記移動処理が実行されている状態において、前記各組における前記一対のプローブの前記各先端部と前記接触対象領域とが接触しているか否かを当該一対のプローブを介して入力した前記電気信号に基づいて判別し、
前記処理部は、前記検査部によって前記一対のプローブの前記各先端部と前記接触対象領域とが接触していると判別されたときまでの前記移動機構による前記相対的な移動量に基づいて前記離間距離のばらつきを前記各組毎に特定する基板検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2G014AA02
, 2G014AA03
, 2G014AB59
, 2G014AC10
, 2G132AE18
, 2G132AE23
, 2G132AF07
, 2G132AL03
, 2G132AL11
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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