特許
J-GLOBAL ID：201403040813332423

形状測定装置、形状測定方法および形状測定プログラム

発明者：
中務 貴司

中務 貴司 について


出願人/特許権者：
株式会社キーエンス

株式会社キーエンス について


代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-199985
公開番号（公開出願番号）：特開2014-055813
出願日： 2012年09月11日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
要約：
【課題】測定対象物の形状測定前に、測定対象物の姿勢を形状測定に適切な状態に容易に調整することが可能な形状測定装置、形状測定方法および形状測定プログラムを提供する。【解決手段】形状測定前に、投光部110により姿勢確認用のパターンを有する光が測定対象物Sに照射される。この状態で、受光部120により撮像された測定対象物Sの画像が表示部400に表示される。投光部110により測定対象物Sに姿勢確認用のパターンを有する光が照射された状態で、測定対象物Sの姿勢が調整される。形状測定時に、投光部110により照射された形状測定用のパターンを有する光が測定対象物Sにより反射され、受光部120により受光される。受光部120により出力される受光信号に基づいて、三角測距方式により測定対象物Sの立体形状データが生成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
測定対象物が載置されるステージと、 測定対象物の姿勢確認用の第1のパターンを有する第1の光を前記ステージに載置された測定対象物に斜め上方から照射し、前記第1のパターンと異なりかつ測定対象物の形状測定用の第2のパターンを有する第2の光を前記ステージに載置された測定対象物に斜め上方から照射するように構成される投光部と、 前記ステージの上方に配置され、ステージに載置された測定対象物により反射された光を受光し、受光量を示す受光信号を出力するとともに、ステージに載置された測定対象物を撮像するように構成される受光部と、 前記受光部により出力される受光信号に基づいて、三角測距方式により測定対象物の立体形状を示す立体形状データを生成するように構成されるデータ生成部と、 前記受光部により撮像された測定対象物の画像を表示するように構成される表示部と、 形状測定前に、前記第1の光を測定対象物に照射するように前記投光部を制御するとともに前記受光部により撮像される測定対象物の画像を表示するように前記表示部を制御し、形状測定時に、前記第2の光を測定対象物に照射するように前記投光部を制御するとともに前記立体形状データを生成するように前記データ生成部を制御する制御部と、 前記投光部により測定対象物に前記第1の光が照射された状態で、測定対象物の姿勢を調整するように操作可能な姿勢調整部とを備える、形状測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/25 ,  G01B 11/24 ,  G06T 1/00
FI (4件)：
G01B11/25 H ,  G01B11/24 A ,  G06T1/00 315 ,  G01B11/24 K
Fターム (27件)：
2F065AA53 ,  2F065DD06 ,  2F065DD19 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF06 ,  2F065FF09 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ31 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057BA15 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CE08 ,  5B057DA07 ,  5B057DC03 ,  5B057DC22
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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