振動片、振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体及び振動片の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 須澤修 , 宮坂一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-166732
公開番号（公開出願番号）：特開2014-027505
出願日： 2012年07月27日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
要約：

【課題】水晶基板の厚み滑り振動の振動方向に生じる厚み屈曲振動モードの影響を低減し、CI値の低減を図り、周波数温度特性を改善することを可能とする小型の振動片及びその製造方法を提供する。【解決手段】水晶の結晶軸であるX軸と、前記X軸を回転軸として結晶軸であるZ軸を結晶軸であるY軸の-Y軸側へ回転して得られるZ’軸とを含む面を主面とし、前記X軸を回転軸として結晶軸であるY軸を結晶軸である前記Z軸の-Z軸側へ回転して得られるY’軸方向を厚みとする水晶平板で構成されている回転Yカット水晶基板を準備する工程と、前記側面をエッチングする工程を行い、前記X軸と交差する少なくとも一方の側面に、少なくとも4つ以上の結晶面133,134,135,136,137,138を形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

水晶の結晶軸であるX軸と、前記X軸を回転軸として結晶軸であるZ軸を結晶軸であるY軸の-Y軸側へ回転して得られるZ’軸とを含む面を主面とし、前記X軸を回転軸として結晶軸であるY軸を結晶軸である前記Z軸の-Z軸側へ回転して得られるY’軸方向を厚みとする水晶平板で構成されている回転Yカット水晶基板を準備する工程と、前記X軸と交差する少なくとも一方の側面に少なくとも4つの面が形成されるように前記側面をエッチングする工程と、を含むことを特徴とする振動片の製造方法。

IPC (7件)：

H03H 3/02 , H03H 9/02 , H03H 9/19 , H03B 5/32 , H01L 41/22 , H01L 41/18 , H01L 41/09

FI (7件)：

H03H3/02 B , H03H9/02 K , H03H9/19 D , H03B5/32 H , H01L41/22 Z , H01L41/18 101A , H01L41/08 C

Fターム (35件)：

5J079AA04 , 5J079BA02 , 5J079BA39 , 5J079BA43 , 5J079CB02 , 5J079FA01 , 5J079FA13 , 5J079FA24 , 5J079FA26 , 5J079HA03 , 5J079HA06 , 5J079HA09 , 5J079HA22 , 5J108AA01 , 5J108AA02 , 5J108AA04 , 5J108BB02 , 5J108BB03 , 5J108CC05 , 5J108DD02 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108EE07 , 5J108EE13 , 5J108EE18 , 5J108FF11 , 5J108GG03 , 5J108GG16 , 5J108GG17 , 5J108HH04 , 5J108HH06 , 5J108KK01 , 5J108KK05 , 5J108MM11 , 5J108NA02

引用特許：

審査官引用 (7件)

圧電振動片および圧電振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-259178 出願人：セイコーエプソン株式会社
水晶振動子の電極形成方法及び水晶振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-038152 出願人：日本電波工業株式会社
厚みすべり水晶振動板
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-275507 出願人：株式会社大真空

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