特許
J-GLOBAL ID:201403042854375768
ウェットエッチング用基板
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (2件):
酒井 一
, 蔵合 正博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-098904
公開番号(公開出願番号):特開2014-208912
出願日: 2014年05月12日
公開日(公表日): 2014年11月06日
要約:
【課題】基板表面の金属と熱可塑性高分子とを強固に接着させ得る、ウェットエッチング用基板を提供する。【解決手段】基板層、金属酸化物表面を有する金属層、式(1)に示す感紫外線化合物層、および熱可塑性高分子層をこの順で有し、前記熱可塑性高分子層の熱可塑性高分子が、ポリスチレンおよびポリビニルトルエンから選ばれる少なくとも1種以上の熱可塑性高分子であるウェットエッチング用基板とする。【化1】(R1〜R3:H、C1〜6の炭化水素基等、X:O、OCO、COO、NH、NHCO、m:1〜20、R4:C1〜3の炭化水素基、Y:C1〜3のアルコキシ基、ハロゲン原子、n:1〜3。)【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板層、金属酸化物表面を有する金属層、式(I)に示す感紫外線化合物層、および熱可塑性高分子層をこの順で有し、
前記熱可塑性高分子層の熱可塑性高分子が、ポリスチレンおよびポリビニルトルエンから選ばれる少なくとも1種以上の熱可塑性高分子であるウェットエッチング用基板。
IPC (5件):
C23F 1/00
, H05K 3/06
, B32B 15/08
, B32B 27/30
, H05K 3/18
FI (5件):
C23F1/00 102
, H05K3/06 H
, B32B15/08 J
, B32B27/30 B
, H05K3/18 G
Fターム (60件):
4F100AA17B
, 4F100AA19A
, 4F100AA19B
, 4F100AA22B
, 4F100AB01B
, 4F100AB10B
, 4F100AB11A
, 4F100AB13B
, 4F100AB17B
, 4F100AB24B
, 4F100AG00A
, 4F100AK01C
, 4F100AK01D
, 4F100AK12D
, 4F100AK33A
, 4F100AK41A
, 4F100AK49A
, 4F100AK53A
, 4F100AT00A
, 4F100BA04
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10D
, 4F100EH66
, 4F100EH71
, 4F100GB43
, 4F100JB14C
, 4F100JB16D
, 4K057WB04
, 4K057WC05
, 4K057WC08
, 4K057WN01
, 5E339AB01
, 5E339AB02
, 5E339AB06
, 5E339BC02
, 5E339BC05
, 5E339BE11
, 5E339CD01
, 5E339CE11
, 5E339CE15
, 5E339CF20
, 5E339CG04
, 5E343AA02
, 5E343AA17
, 5E343AA18
, 5E343AA19
, 5E343AA23
, 5E343AA26
, 5E343BB23
, 5E343BB24
, 5E343BB25
, 5E343BB28
, 5E343BB34
, 5E343BB38
, 5E343BB44
, 5E343BB48
, 5E343DD43
, 5E343GG08
, 5E343GG20
引用特許:
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