特許
J-GLOBAL ID：201403042854375768

ウェットエッチング用基板

発明者：
大嶽 知之

大嶽 知之 について

, 
姜 義哲

姜 義哲 について

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中川 勝

中川 勝 について

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久保 祥一

久保 祥一 について


出願人/特許権者：
日油株式会社

日油株式会社 について

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国立大学法人東北大学

国立大学法人東北大学 について


代理人 (2件)： 酒井 一 ,  蔵合 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-098904
公開番号（公開出願番号）：特開2014-208912
出願日： 2014年05月12日
公開日（公表日）： 2014年11月06日
要約：
【課題】基板表面の金属と熱可塑性高分子とを強固に接着させ得る、ウェットエッチング用基板を提供する。【解決手段】基板層、金属酸化物表面を有する金属層、式(1)に示す感紫外線化合物層、および熱可塑性高分子層をこの順で有し、前記熱可塑性高分子層の熱可塑性高分子が、ポリスチレンおよびポリビニルトルエンから選ばれる少なくとも1種以上の熱可塑性高分子であるウェットエッチング用基板とする。【化1】(R1〜R3:H、C1〜6の炭化水素基等、X:O、OCO、COO、NH、NHCO、m:1〜20、R4:C1〜3の炭化水素基、Y:C1〜3のアルコキシ基、ハロゲン原子、n:1〜3。)【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板層、金属酸化物表面を有する金属層、式(I)に示す感紫外線化合物層、および熱可塑性高分子層をこの順で有し、 前記熱可塑性高分子層の熱可塑性高分子が、ポリスチレンおよびポリビニルトルエンから選ばれる少なくとも1種以上の熱可塑性高分子であるウェットエッチング用基板。
IPC (5件)：
C23F 1/00 ,  H05K 3/06 ,  B32B 15/08 ,  B32B 27/30 ,  H05K 3/18
FI (5件)：
C23F1/00 102 ,  H05K3/06 H ,  B32B15/08 J ,  B32B27/30 B ,  H05K3/18 G
Fターム (60件)：
4F100AA17B ,  4F100AA19A ,  4F100AA19B ,  4F100AA22B ,  4F100AB01B ,  4F100AB10B ,  4F100AB11A ,  4F100AB13B ,  4F100AB17B ,  4F100AB24B ,  4F100AG00A ,  4F100AK01C ,  4F100AK01D ,  4F100AK12D ,  4F100AK33A ,  4F100AK41A ,  4F100AK49A ,  4F100AK53A ,  4F100AT00A ,  4F100BA04 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10D ,  4F100EH66 ,  4F100EH71 ,  4F100GB43 ,  4F100JB14C ,  4F100JB16D ,  4K057WB04 ,  4K057WC05 ,  4K057WC08 ,  4K057WN01 ,  5E339AB01 ,  5E339AB02 ,  5E339AB06 ,  5E339BC02 ,  5E339BC05 ,  5E339BE11 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE15 ,  5E339CF20 ,  5E339CG04 ,  5E343AA02 ,  5E343AA17 ,  5E343AA18 ,  5E343AA19 ,  5E343AA23 ,  5E343AA26 ,  5E343BB23 ,  5E343BB24 ,  5E343BB25 ,  5E343BB28 ,  5E343BB34 ,  5E343BB38 ,  5E343BB44 ,  5E343BB48 ,  5E343DD43 ,  5E343GG08 ,  5E343GG20
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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