特許
J-GLOBAL ID:201403044609475326

光偏向器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-199364
公開番号(公開出願番号):特開2014-056015
出願日: 2012年09月11日
公開日(公表日): 2014年03月27日
要約:
【課題】圧電式回転角センサをトーションバーの基端部側に配置する光偏向器において、圧電式回転角センサの出力の精度を向上させる。【解決手段】光偏向器1は、光を反射するミラー部2と、ミラー部2に先端部を結合したトーションバー3と、先端側及び基端側をそれぞれトーションバー3の基端部及び矩形枠4に結合しトーションバー3の基端部をトーションバー3の軸線回りに往復回転させる直線状圧電アクチュエータ5と、直線状圧電アクチュエータ5の先端部に配設されてトーションバー3の回転角を検出する圧電式回転角センサと、圧電式回転角センサの検出信号を導く信号線とを備える。圧電式回転角センサは、直線状圧電アクチュエータ5の幅方向において、圧電アクチュエータの内側端と、該内側端から圧電アクチュエータの外側端の方へ直線状圧電アクチュエータ5の幅Wの2/5離れた幅方向位置との間に配設される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
一定の方向から入射する光を反射するミラー面を有するミラー部と、 前記ミラー部に先端部を結合したトーションバーと、 支持体と、 先端側を前記トーションバーの基端部に結合し基端側を前記支持体に結合して前記トーションバーの基端部を前記トーションバーの軸線回りに往復回転させる圧電アクチュエータと、 前記圧電アクチュエータの先端側範囲に配設されて前記トーションバーの回転角を検出する圧電式回転角センサと、 前記圧電式回転角センサの検出信号を導く信号線とを備え、 前記圧電アクチュエータのミラー部側及びその反対側をそれぞれ内側及び外側とし、前記圧電アクチュエータの内側及び外側を両側とする方向を幅方向として、前記圧電式回転角センサは、前記圧電アクチュエータの幅方向において、前記圧電アクチュエータの内側端と、該内側端から前記圧電アクチュエータの外側端の方へ前記圧電アクチュエータの幅Wの2/5離れた位置との間に配設されることを特徴とする光偏向器。
IPC (3件):
G02B 26/10 ,  H04N 1/113 ,  B81B 3/00
FI (3件):
G02B26/10 104Z ,  H04N1/04 104Z ,  B81B3/00
Fターム (15件):
2H045AB06 ,  2H045AB38 ,  2H045AB44 ,  2H045AB81 ,  3C081AA01 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA55 ,  3C081BA76 ,  3C081EA08 ,  5C072AA03 ,  5C072BA04 ,  5C072HA14 ,  5C072HB15
引用特許:
出願人引用 (5件)
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