四面体炭素層および軟質外層を備える層状構造によって被覆された基板

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：奥山尚一 , 有原幸一 , 松島鉄男 , 河村英文 , 中村綾子 , 森本聡二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-234012
公開番号（公開出願番号）：特開2014-088024
出願日： 2013年11月12日
公開日（公表日）： 2014年05月15日
要約：

【課題】四面体炭素層及び軟質外層を備える層状構造によって少なくとも部分的に被覆された金属基板を提供する。【解決手段】層状構造は、金属基板11に堆積された中間層14と、中間層に堆積された非晶質炭素層16と、を備える。非晶質炭素層16は、200GPaよりも低いヤング率を有し、非晶質水素化炭素層又はダイヤモンド状ナノコンポジット(DLN)層から構成され、厚みが0.5〜3μmである。中間層14は、200〜800GPaのヤング率であり、硬度は20〜80GPaであり、四面体炭素のsp3結合が50〜90%であり、少なくとも一種の金属でドープされている四面体炭素層から構成される。【効果】前記四面体炭素皮膜に被覆された金属基板は、被接触体の磨耗を低減させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

層状構造によって少なくとも部分的に被覆された金属基板であって、前記層状構造が、前記基板に堆積された中間層と、前記中間層に堆積された非晶質炭素層とを備え、前記非晶質炭素層が200GPaよりも低いヤング率を有し、前記中間層が200GPaよりも高いヤング率を有する四面体炭素層から構成されることを特徴とする金属基板。

IPC (2件)：

B32B 9/04 , B32B 15/04

FI (2件)：

B32B9/04 , B32B15/04 Z

Fターム (42件)：

4F100AA12B , 4F100AA15B , 4F100AA17B , 4F100AA20C , 4F100AA37C , 4F100AB01A , 4F100AB01C , 4F100AB03A , 4F100AB10A , 4F100AB11B , 4F100AB11C , 4F100AB11D , 4F100AB12B , 4F100AB13B , 4F100AB31A , 4F100BA03 , 4F100BA04 , 4F100BA07 , 4F100BA08 , 4F100BA10A , 4F100BA10C , 4F100EJ82C , 4F100JA12C , 4F100JK07B , 4F100JK07C , 4F100JK12 , 4F100JK12C , 4F100YY00B , 4F100YY00C , 4K029AA02 , 4K029AA24 , 4K029BA34 , 4K029BA41 , 4K029BA54 , 4K029BA55 , 4K029BB02 , 4K029BB10 , 4K029BD04 , 4K029CA01 , 4K029CA03 , 4K029DB20 , 4K029DD06

引用特許：

審査官引用 (6件)

滑り特性が向上したDLC層システム、およびそのような層システムを生成するためのプロセス
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-576965 出願人：ユナキス・バルツェルス・アクチェンゲゼルシャフト
ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜および耐摩耗性、耐摺動性に優れた部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-081969 出願人：株式会社神戸製鋼所
耐摩耗性硬質炭素被膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-273474 出願人：大同特殊鋼株式会社

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