特許
J-GLOBAL ID：201403048091012004
形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、および形状測定プログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-141934
公開番号（公開出願番号）：特開2014-006149
出願日： 2012年06月25日
公開日（公表日）： 2014年01月16日
要約：
【課題】形状測定の精度が低下する程度を低減する。【解決手段】形状測定装置は、ある強度分布を有する光束を測定対象に投光する投光部と、入力される情報に基づいて、光束のコヒーレンシーを制御する制御部と、光束が投光された測定対象の表面を撮像した撮像画像を生成する撮像部と、撮像部で生成された撮像画像に含まれる光束の位置に基づいて、表面の形状を測定する測定部とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ある強度分布を有する光束を測定対象に投光する投光部と、
入力される情報に基づいて、前記光束のコヒーレンシーを制御する制御部と、
前記光束が投光された測定対象の表面を撮像した撮像画像を生成する撮像部と、
前記撮像部で生成された前記撮像画像に含まれる前記光束の位置に基づいて、前記表面の形状を測定する測定部と、
を備えることを特徴とする形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (21件)：
2F065AA04
, 2F065BB05
, 2F065EE00
, 2F065FF01
, 2F065FF02
, 2F065FF09
, 2F065FF66
, 2F065FF67
, 2F065GG06
, 2F065HH03
, 2F065HH05
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL28
, 2F065NN20
, 2F065PP04
, 2F065PP13
, 2F065QQ23
, 2F065RR08
, 2F065UU07
