特許
J-GLOBAL ID：200903061237277320

形状測定装置

発明者：
山田 智明

山田 智明 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 稲本 義雄 ,  西川 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-270963
公開番号（公開出願番号）：特開2009-098044
出願日： 2007年10月18日
公開日（公表日）： 2009年05月07日
要約：
【課題】スリット光を用いた三角測量において、被検物によってスリット光が正反射された場合においても、被検物の形状を部分的に欠落することなく測定する。【解決手段】この3次元形状測定装置10は、第1投光部11、第2投光部12、撮像部13、および画像処理部14を備える。第1投光部11と第2投光部12とは、異なる照射角で被検物1を照射するので、一方からのスリット光が正反射したとしても、それと同時に他方からのスリット光が正反射することはない。よって、正反射が生じていない方の投光部の照射光の反射光を撮像した画像を採用し、被検物1の3次元形状を解析する。本発明は、スリット光を用いた三角測量により被検物の3次元形状を測定する測定装置に採用することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
スリット光を用いた三角測量により被検物の形状を測定する形状測定装置において、 前記被検物に対してそれぞれ異なる方向に配置され、固定された照射角でスリット光を照射する複数の照射手段と、 前記被検物に対する前記複数の照射手段のいずれの方向とも異なる方向に配置され、各照射手段によってスリット光が照射された前記被検物を、それぞれの照射手段に対応する複数の画像として撮像する撮像手段と、 前記照射手段の固定された照射角と、前記撮像手段と前記照射手段との間の固定された基線長とに基づき、前記撮像手段によって撮像された前記複数の画像を解析し、前記撮像手段から前記被検物までの距離を演算する演算手段と を備えることを特徴とする形状測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24 ,  G01C 3/06 ,  G01S 17/48
FI (4件)：
G01B11/24 K ,  G01C3/06 110A ,  G01C3/06 140 ,  G01S17/48
Fターム (54件)：
2F065AA06 ,  2F065AA53 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065GG07 ,  2F065GG23 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL18 ,  2F065LL22 ,  2F065LL46 ,  2F065LL49 ,  2F065MM03 ,  2F065NN01 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ31 ,  2F112AA09 ,  2F112BA03 ,  2F112CA08 ,  2F112DA02 ,  2F112DA04 ,  2F112DA19 ,  2F112DA21 ,  2F112DA25 ,  2F112DA26 ,  2F112DA28 ,  2F112DA32 ,  2F112EA11 ,  2F112GA01 ,  2F112GA03 ,  5J084AA13 ,  5J084AD07 ,  5J084BA02 ,  5J084BA03 ,  5J084BA05 ,  5J084BA08 ,  5J084BA11 ,  5J084BA21 ,  5J084BA38 ,  5J084BB02 ,  5J084BB14 ,  5J084BB18 ,  5J084CA65 ,  5J084CA67 ,  5J084DA01 ,  5J084DA07 ,  5J084EA07
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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