特許
J-GLOBAL ID：201403051603939890

EUV用ペリクル

発明者：
山田 素行

山田 素行 について

, 
秋山 昌次

秋山 昌次 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (3件)： 滝田 清暉 ,  中村 成美 ,  岩▲崎▼ 有穂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-193082
公開番号（公開出願番号）：特開2014-049677
出願日： 2012年09月03日
公開日（公表日）： 2014年03月17日
要約：
【課題】入射したEUV光の減少を緩和することができると共に、高い強度を有するEUV用ペリクルを提供すること。【解決手段】メッシュ形状の構造物によって補強されたEUV透過膜を有するEUV用ペリクル。前記メッシュ形状の構造物の縦断面形状(高さ方向断面形状)がEUV透過膜から離れるに従って先細る、先細り形状であることを特徴とする。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
メッシュ形状の構造物によって補強されたEUV透過膜を有するEUV用ペリクルであって、前記メッシュ形状の構造物の縦断面形状がEUV透過膜から離れるに従って先細る、先細り形状であることを特徴とするEUV用ペリクル。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 1/64
FI (2件)：
H01L21/30 531M ,  G03F1/64
Fターム (8件)：
2H095BA01 ,  2H095BA02 ,  2H095BA10 ,  2H095BC36 ,  2H095BC38 ,  5F146GA21 ,  5F146GA24 ,  5F146GD20
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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