マスク保護装置、マスク、露光方法、デバイス製造方法、及び搬送方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 青山正和 , 西和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-154021
公開番号（公開出願番号）：特開2008-304840
出願日： 2007年06月11日
公開日（公表日）： 2008年12月18日
要約：

【課題】マスクに露光光を良好に照射できるマスク保護装置を提供する。【解決手段】マスク保護装置は、露光光が照射されるマスクの表面を保護する。マスク保護装置は、直交する第1方向及び第2方向に配置され、マスクの表面を保護するためのペリクルを支持するフレーム部材を備える。第1方向に配置されたフレーム部材の内側面の少なくとも一部は、フレーム部材の内側から外側に向かう方向において、マスクの表面から除々に離れるように傾斜しており、第2方向に配置されたフレーム部材の内側面は、マスクの表面に対して実質的に垂直である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

露光光が照射されるマスクの表面を保護するマスク保護装置であって、直交する第1方向及び第2方向に配置され、前記マスクの表面を保護するためのペリクルを支持するフレーム部材を備え、前記第1方向に配置された前記フレーム部材の内側面の少なくとも一部は、前記フレーム部材の内側から外側に向かう方向において、前記マスクの表面から除々に離れるように傾斜しており、前記第2方向に配置された前記フレーム部材の内側面は、前記マスクの表面に対して実質的に垂直であるマスク保護装置。

IPC (2件)：

G03F 1/14 , H01L 21/027

FI (2件)：

G03F1/14 K , H01L21/30 502P

Fターム (4件)：

2H095BC30 , 2H095BC36 , 2H095BC38 , 2H095BE03

引用特許：

出願人引用 (1件)

マスク保護装置、マスク、ガス置換装置、露光装置、ガス置換方法及び露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-046024 出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (7件)

フォトマスク
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-298321 出願人：松下電器産業株式会社
特開昭63-246746
マスク保護装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-180461 出願人：株式会社ニコン

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